The 3 references without contexts in paper T. Ismailov A., P. Zakharova R., B. Shangereeva A., A. Shakhmaeva R., Т. Исмаилов А., П. Захарова Р., Б. Шангереева А., А. Шахмаева Р. (2016) “ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК SIO2 // RESEARCH PROCESS PLASMA ETCHING SIO2 MEMBRANE” / spz:neicon:vestnik:y:2014:i:4:p:56-62

1
Кремниевые планарные транзисторы./ Под редакцией Я.А. Федотова. М., «Советское радио», 1973 г.
(check this in PDF content)
2
Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств.М., 1991, С118-122.
(check this in PDF content)
3
Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем –М.: «Высшая школа», 1986, -С.107..
(check this in PDF content)