The 2 references with contexts in paper U. Basiniuk L., В. Басинюк Л. (2018) “ДИНАМИКА ПЕРЕХОДНЫХ ПРОЦЕССОВ В ПРИВОДАХ С ГИБКОЙ СВЯЗЬЮ ПРИ РАЗДЕЛЕНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН НА КРИСТАЛЛЫ АЛМАЗНЫМ КРУГОМ // DYNAMICS OF TRANSITION PROCESSES IN DRIVE MECHANISM WITH FLEXIBLE COMMUNICATION AT WAFER SEPARATION BY A DIAMOND WHEEL” / spz:neicon:vestift:y:2018:i:1:p:68-75

1
Папина, С. С. Комбинированные приводы координатных систем для прецизионного разделения полупроводниковых пластин на кристаллы / С. С. Папина, В. Л. Басинюк. – Минск: РИПО, 2016. – 118 с.
Total in-text references: 6
  1. In-text reference with the coordinate start=5041
    Prefix
    При этом размеры лежащих в основе этой продукции микрочипов (кристаллов) будут постоянно уменьшаться. Произойдет постепенный переход топологической нормы изготовления твердотельных интегральных схем от 28–65 к 10–22 нм
    Exact
    [1]
    Suffix
    . В процессе изготовления микрочипов разделение полупроводниковых пластин на кристаллы осуществляется в основном резанием алмазным кругом толщиной 15–120 мкм. Толщина пластин составляет 250–500 мкм и менее при их диаметре 50–450 мм.

  2. In-text reference with the coordinate start=6665
    Prefix
    Это приводит к повышенным динамическим нагрузкам при взаимодействии алмазного круга с полупроводниковой пластиной и, как следствие, возникновению на ней и алмазном круге сколов или их разрушению. Снижается производительность и выход годных кристаллов, возникает необходимость использования относительно невысоких скоростей обработки
    Exact
    [1]
    Suffix
    . Следует отметить, что разделение полупроводниковых пластин на кристаллы является по существу финишной операцией, на которой стоимость пластин может достигать 30 тыс. долл. США. Таким образом, установление закономерностей, связывающих координатные перемещения стола и его ускорения при разгоне до рабочей скорости подачи, а также разработка технических решений, позволяющих исключить механические

  3. In-text reference with the coordinate start=8186
    Prefix
    -управляемого привода (рис. 1, а) серийно изготавливаемой прецизионной установки М-2085В ОАО «Планар» (рис. 1, b), в которой разгон стола до рабочей скорости подачи осуществляется с постоянным ускорением. При разработке модели движения стола в процессе его разгона с используемым в установке М-2085 постоянным ускорением а до рабочей скорости подачи были принятые следующие допущения
    Exact
    [1, 2]
    Suffix
    : трением в сопряжениях шкива с зубчатым ремнем и в подшипниковых узлах шкива можно пренебречь; коэффициенты вязкоупругого трения в механической системе и безразмерные коэффициенты затухания колебаний постоянны; усилия сопротивления движению стола постоянны.

  4. In-text reference with the coordinate start=9182
    Prefix
    зубчатого ремня, имеющего жесткость Ср, до величины в момент времени t = 0, при которой натяжение ремня и соответствующая ему сила тяги привода становится равной силе сопротивления движению стола. Второй период времени – от t = 0 до t = t1, в котором стол движется с постоянным ускорением а, разгоняясь на отрезке l1 за прогнозируемое время t1 до рабочей скорости подачи VS. В соответствии с
    Exact
    [1]
    Suffix
    дифференциальное уравнение движения стола при его разгоне до рабочей скорости подачи может быть записано в следующем виде: 2 22 1 , 2 S mm m m V xu x xt t  + w +w =w (1) где x – величина перемещения (координата) стола от начала его движения, мм; um – безразмерный коэффициент затухания механических колебаний, связанный с лог

  5. In-text reference with the coordinate start=12285
    Prefix
    В момент времени tVS достижения столом скорости рабочей подачи VS уравнение (6) может быть представлено в следующем виде: 211 1 1 cos . mVS S S qut tV V t e tt tq − +φ  = (8) В работе
    Exact
    [1]
    Suffix
    показано, что скоростным режимам резания соответствуют значения безразмерного параметра q, равные q = 2÷12. Поэтому дальнейшие исследования были проведены для данного диапазона величин q. Результаты и их обсуждение.

  6. In-text reference with the coordinate start=15207
    Prefix
    хода l1, величины рабочей скорости подачи VS, угловой частоты собственных колебаний стола wm, при котором контролируемое системой управления оборудованием время достижения столом рабочей скорости подачи и координата его расположения будут практически совпадать с планируемым, а ускорение – ниже прогнозируемого в 1,4–4 раза. В рассматриваемом случае это значение q ≈ 6,3 (см. рис. 2). В
    Exact
    [1]
    Suffix
    показано, что такая величина q может быть комплексно обеспечена подбором и программно-управляемым варьированием жесткостью зубчато-ременной передачи путем изменения ее натяжения, технически обоснованным выбором массы стола с учетом планируемых режимов обработки и экономически обоснованным назначением длины холостого хода.

2
Еffect of damping parameters on dynamic behavior of program controllable drives of coordinate systems with belt drive. Рart 1 / V. L. Basinyuk [et al.] // J. of Friction and Wear. – 2013. – Vol. 34, No 5. – Р. 362–367.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=8186
    Prefix
    -управляемого привода (рис. 1, а) серийно изготавливаемой прецизионной установки М-2085В ОАО «Планар» (рис. 1, b), в которой разгон стола до рабочей скорости подачи осуществляется с постоянным ускорением. При разработке модели движения стола в процессе его разгона с используемым в установке М-2085 постоянным ускорением а до рабочей скорости подачи были принятые следующие допущения
    Exact
    [1, 2]
    Suffix
    : трением в сопряжениях шкива с зубчатым ремнем и в подшипниковых узлах шкива можно пренебречь; коэффициенты вязкоупругого трения в механической системе и безразмерные коэффициенты затухания колебаний постоянны; усилия сопротивления движению стола постоянны.