The 12 references with contexts in paper N. Gaponenko V., Н. Гапоненко В. (2016) “Формирование и перспективы применения пленочных структур с использованием анодирования, золь-гель-синтеза и фотолитографии // Formation and prospects of application of film structures with anodizing, sol-gel synthesis and photolithography” / spz:neicon:vestift:y:2014:i:1:p:108-111

1
Gaponenko N. V. // Acta Physica Polonica . 2007 . N 112 . P . 737–749 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=634
    Prefix
    Пленочные структуры, сформированные электрохимическим анодированием алюминия и золь-гель-методом, представляют интерес для различного применения . Возможность изменения периода ячейки и размера пор пористого анодного оксида алюминия (ПАОА)
    Exact
    [1]
    Suffix
    , а также формирование регулярной высокоупорядоченной структуры [2] повышают интерес к использованию пленок ПАОА для планарных фотонно-кристаллических волноводов, в которых снижение потерь электромагнитного излучения при распространении по волноводу обеспечивается за счет интерференции в двумерном фотонном кристалле [3] .

2
Masuda H. et al . // . Appl . Phys . Lett . 1997 . Vol .71, N 19 . P . 2770–2772 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=701
    Prefix
    Пленочные структуры, сформированные электрохимическим анодированием алюминия и золь-гель-методом, представляют интерес для различного применения . Возможность изменения периода ячейки и размера пор пористого анодного оксида алюминия (ПАОА) [1], а также формирование регулярной высокоупорядоченной структуры
    Exact
    [2]
    Suffix
    повышают интерес к использованию пленок ПАОА для планарных фотонно-кристаллических волноводов, в которых снижение потерь электромагнитного излучения при распространении по волноводу обеспечивается за счет интерференции в двумерном фотонном кристалле [3] .

3
Желтиков А. М . // Успехи физических наук . 2000 . Т . 170, N 11 . С . 1203–1215 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=957
    Prefix
    периода ячейки и размера пор пористого анодного оксида алюминия (ПАОА) [1], а также формирование регулярной высокоупорядоченной структуры [2] повышают интерес к использованию пленок ПАОА для планарных фотонно-кристаллических волноводов, в которых снижение потерь электромагнитного излучения при распространении по волноводу обеспечивается за счет интерференции в двумерном фотонном кристалле
    Exact
    [3]
    Suffix
    . Фотолюминесценция тербия и европия, введенного в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии [4] .

4
Гапоненко Н. В., Ореховская Т. И., Меледина М. В. и др . Способ формирования рисунка для получения люминесцентного изображения на алюминиевой поверхности: Пат . РБ 15052 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=1230
    Prefix
    Фотолюминесценция тербия и европия, введенного в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии
    Exact
    [4]
    Suffix
    . Люминесценция эрбия в составе оксидов, сформированных в ПАОА золь-гель-методом, указывает на перспективу разработки микролазеров [5] и планарных эрбиевых усилителей [6] . Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение д

5
Yang L., Armani D. K., Vahala K. J. // Appl . phys . lett . 2003 . Vol . 83, N 5 . P . 825–826 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=1366
    Prefix
    тербия и европия, введенного в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии [4] . Люминесценция эрбия в составе оксидов, сформированных в ПАОА золь-гель-методом, указывает на перспективу разработки микролазеров
    Exact
    [5]
    Suffix
    и планарных эрбиевых усилителей [6] . Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение для пленочных конверторов рентгеновского излучения [7, 8] .

6
Polman A. // J . Appl . Phys . 1997 . Vol . 82, N 1 . P . 1–38 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=1402
    Prefix
    в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии [4] . Люминесценция эрбия в составе оксидов, сформированных в ПАОА золь-гель-методом, указывает на перспективу разработки микролазеров [5] и планарных эрбиевых усилителей
    Exact
    [6]
    Suffix
    . Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение для пленочных конверторов рентгеновского излучения [7, 8] .

7
Gaponenko N. V. et al . // Microelectron . Eng . 2012 . Vol . 90 . P . 131–137 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=1684
    Prefix
    Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение для пленочных конверторов рентгеновского излучения
    Exact
    [7, 8]
    Suffix
    . Для практического использования пленок ПАОА, содержащего композит в порах или на его поверхности, требуется разработка технологии формирования рисунка для структуры композит/ ПАОА в соответствии с рисунком фотошаблона .

8
Gaponenko N. V. et al . // J . Appl . Phys . 2012 . Vol . 111 . P . 103-109 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=1684
    Prefix
    Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение для пленочных конверторов рентгеновского излучения
    Exact
    [7, 8]
    Suffix
    . Для практического использования пленок ПАОА, содержащего композит в порах или на его поверхности, требуется разработка технологии формирования рисунка для структуры композит/ ПАОА в соответствии с рисунком фотошаблона .

9
Сокол В. А . Анодные оксиды алюминия: монография . Мн ., 2011 .
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2056
    Prefix
    Для практического использования пленок ПАОА, содержащего композит в порах или на его поверхности, требуется разработка технологии формирования рисунка для структуры композит/ ПАОА в соответствии с рисунком фотошаблона . При этом, несмотря на ряд разработок формирования рисунка для сравнительно тонких пленок ПАОА с использованием нанесения металлической маски
    Exact
    [9]
    Suffix
    , целесообразно развитие технологии формирования подобных структур для толстых пленок ПАОА с морфологией, соответствующей рисунку фотошаблона без металлической маски, что понизило бы себестоимость изготовления подобных структур .

10
Gaponenko N. V. et al . // Sens . Actuators A . 2002 . Vol . 99 . P . 71–73
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3868
    Prefix
    различной морфологии в качестве электролита применялись водные растворы щавелевой кислоты концентрацией 0,4 моль/л при напряжении анодирования 30 В, ортофосфорной кислоты концентрацией 1 моль/л при напряжении 100 В, 10%-ной серной кислоты с прибавлением 5 % щавелевой кислоты при напряжении 20 В. Далее пленки ПАОА покрывались слоем ксерогеля. Для синтеза ксерогеля приготовлен золь по методике
    Exact
    [10]
    Suffix
    , соответствующий составу 40%TiO2/60%Eu2O3. По нашим данным, синтез пленок оксида титана золь-гель-методом дает более воспроизводимые результаты по сравнению с пленками ксерогелей, соответствующих составу оксида кремния, оксида алюминия и виллемита.

11
Gaponenko N. V. et al // J . Electrochem . Soc . 2001 . Vol . 148, N 2 . P . H13–H16
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=5454
    Prefix
    Проведенные ранее исследования методами атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии вторичных ионов показали, что последовательное нанесение от 1 до 10 слоев ксерогеля оксида титана на ПАОА с размером пор 30–40 нм центрифугированием и термообработкой при 900 °С приводит к проникновению ксерогеля в поры, формированию слоя ксерогеля на поверхности ПАОА и планаризации поверхности
    Exact
    [11]
    Suffix
    . Травление структуры и морфология протравленных участков при этом не исследовались. При использовании пленок ПАОА на алюминии температура термообработки снижается до 400–500 °С. Анализ морфологии сформированных структур показывает, что при размере пор более 50 нм пленка ксерогеля оксида титана на его поверхности формируется несплошная и неоднородная, что обусловлено, на наш взгляд, частичным з

12
Molchan I. S. et al . // J . Electrochem . Soc . 2004 . Vol . 151, N 1 . P . H16–H20 N. V. GAPONENKO FORMATION AND PROSPECTS OF APPLICATION OF FILM STRUCTURES WITH ANODIZING, SOL-GEL SYNTHESIS AND PHOTOLITHOGRAPHY Summary
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=7856
    Prefix
    Длина волны возбуждения составляла 280 нм . Незначительное изменение интенсивности люминесценции с ростом числа слоев обусловлено поглощением возбуждающего излучения ксерогелем оксида титана
    Exact
    [12]
    Suffix
    . Заключение. Таким образом, методом растровой электронной микроскопии проведен Рис . 2 . Микрофотографии поверхности пленок ПАОА: а – пленки ПАОА, полученные в растворе щавелевой кислоты концентрацией 0,4 моль/л при напряжении 30 В; б – пленки ПАОА, полученные в 10%-ном растворе серной кислоты с прибавлением 5% щавелевой кислоты при напряжении 20 В Рис . 3 .