The 33 reference contexts in paper E. KANIUKOV Yu., E. BELONOGOV K., D. YAKIMCHUK V., A. KOZLOVSKIY L., K. KADYRZHANOV K., G. ARZUMANYAN M., S. DEMYANOV E., Е. КАНЮКОВ Ю., Е. БЕЛОНОГОВ К., Д. ЯКИМЧУК В., А. КОЗЛОВСКИЙ Л., К. КАДЫРЖАНОВ К., Г. АРЗУМАНЯН М., С. ДЕМЬЯНОВ Е. (2016) “ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МЕДНОГО ОСАДКА В ПОРАХ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ // FEATURES OF FORMING OF COPPER DEPOSIT IN PORES OF SILICON OXIDE” / spz:neicon:vestift:y:2016:i:3:p:11-15

  1. Start
    2998
    Prefix
    Keywords: nanostructures, template synthesis, ion-track technology, copper, dendrites. Введение. В настоящее время большой интерес проявляется к низкоразмерным объектам за счет наличия у них ряда уникальных свойств
    Exact
    [1, 2]
    Suffix
    . При этом наноструктуры уже сегодня нахо-[1, 2] . При этом наноструктуры уже сегодня нахо-. При этом наноструктуры уже сегодня находят свое применение в биомедицине, химии, физике, электронике и материаловедении, область которого постоянно расширяется [3, 4].
    (check this in PDF content)

  2. Start
    3046
    Prefix
    Keywords: nanostructures, template synthesis, ion-track technology, copper, dendrites. Введение. В настоящее время большой интерес проявляется к низкоразмерным объектам за счет наличия у них ряда уникальных свойств [1, 2]. При этом наноструктуры уже сегодня нахо-
    Exact
    [1, 2]
    Suffix
    . При этом наноструктуры уже сегодня нахо-. При этом наноструктуры уже сегодня находят свое применение в биомедицине, химии, физике, электронике и материаловедении, область которого постоянно расширяется [3, 4].
    (check this in PDF content)

  3. Start
    3260
    Prefix
    При этом наноструктуры уже сегодня нахо-. При этом наноструктуры уже сегодня находят свое применение в биомедицине, химии, физике, электронике и материаловедении, область которого постоянно расширяется
    Exact
    [3, 4]
    Suffix
    . Однако широкого практического применения нанострук-[3, 4] . Однако широкого практического применения нанострук-. Однако широкого практического применения наноструктуры пока не получили ввиду отсутствия надежных методик массового производства.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    3319
    Prefix
    При этом наноструктуры уже сегодня находят свое применение в биомедицине, химии, физике, электронике и материаловедении, область которого постоянно расширяется [3, 4]. Однако широкого практического применения нанострук-
    Exact
    [3, 4]
    Suffix
    . Однако широкого практического применения нанострук-. Однако широкого практического применения наноструктуры пока не получили ввиду отсутствия надежных методик массового производства. С этой точки зрения весьма перспективным является метод шаблонного синтеза, подразумевающий использование пористых матриц как основы для массового получения наноструктур с заданными формой и размерами [5, 6].
    (check this in PDF content)

  5. Start
    3718
    Prefix
    С этой точки зрения весьма перспективным является метод шаблонного синтеза, подразумевающий использование пористых матриц как основы для массового получения наноструктур с заданными формой и размерами
    Exact
    [5, 6]
    Suffix
    . В данном случае нанопоры служат шаблоном, в котором реализуются естественные условия для самоорганизации наноразмерных объектов. Одним из способов создания пористых матриц является облучение быстрыми тяжелыми ионами диэлектрических слоев, в результате чего в них образуются протяженные области радиационного повреждения (латентные треки) [7, 8].
    (check this in PDF content)

  6. Start
    4065
    Prefix
    Одним из способов создания пористых матриц является облучение быстрыми тяжелыми ионами диэлектрических слоев, в результате чего в них образуются протяженные области радиационного повреждения (латентные треки)
    Exact
    [7, 8]
    Suffix
    . Селективное травление латентных треков при-[7, 8] . Селективное травление латентных треков при-. Селективное травление латентных треков приводит к формированию стохастически распределенных пор, форма и размеры которых задаются выбором параметров облучения и травления [9, 10].
    (check this in PDF content)

  7. Start
    4116
    Prefix
    Одним из способов создания пористых матриц является облучение быстрыми тяжелыми ионами диэлектрических слоев, в результате чего в них образуются протяженные области радиационного повреждения (латентные треки) [7, 8]. Селективное травление латентных треков при-
    Exact
    [7, 8]
    Suffix
    . Селективное травление латентных треков при-. Селективное травление латентных треков приводит к формированию стохастически распределенных пор, форма и размеры которых задаются выбором параметров облучения и травления [9, 10].
    (check this in PDF content)

  8. Start
    4344
    Prefix
    Селективное травление латентных треков при-. Селективное травление латентных треков приводит к формированию стохастически распределенных пор, форма и размеры которых задаются выбором параметров облучения и травления
    Exact
    [9, 10]
    Suffix
    . После заполнения нанопор необходимыми материалами или их композициями формируются структуры с требуемыми характеристиками, что обусловливает широкий спектр их возможного применения [11–13]. За счет дешевизны, простоты синтеза и высоких эксплуатационных качеств перспективным материалом для получения нанообъектов является медь.
    (check this in PDF content)

  9. Start
    4534
    Prefix
    Селективное травление латентных треков приводит к формированию стохастически распределенных пор, форма и размеры которых задаются выбором параметров облучения и травления [9, 10]. После заполнения нанопор необходимыми материалами или их композициями формируются структуры с требуемыми характеристиками, что обусловливает широкий спектр их возможного применения
    Exact
    [11–13]
    Suffix
    . За счет дешевизны, простоты синтеза и высоких эксплуатационных качеств перспективным материалом для получения нанообъектов является медь. В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  10. Start
    4737
    Prefix
    После заполнения нанопор необходимыми материалами или их композициями формируются структуры с требуемыми характеристиками, что обусловливает широкий спектр их возможного применения [11–13]. За счет дешевизны, простоты синтеза и высоких эксплуатационных качеств перспективным материалом для получения нанообъектов является медь. В настоящее время существует большое количество методик
    Exact
    [14, 15]
    Suffix
    , позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  11. Start
    4822
    Prefix
    За счет дешевизны, простоты синтеза и высоких эксплуатационных качеств перспективным материалом для получения нанообъектов является медь. В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики
    Exact
    [16]
    Suffix
    , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  12. Start
    4840
    Prefix
    За счет дешевизны, простоты синтеза и высоких эксплуатационных качеств перспективным материалом для получения нанообъектов является медь. В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни
    Exact
    [17]
    Suffix
    , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  13. Start
    4856
    Prefix
    За счет дешевизны, простоты синтеза и высоких эксплуатационных качеств перспективным материалом для получения нанообъектов является медь. В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски
    Exact
    [18]
    Suffix
    , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  14. Start
    4876
    Prefix
    За счет дешевизны, простоты синтеза и высоких эксплуатационных качеств перспективным материалом для получения нанообъектов является медь. В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  15. Start
    4896
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-
    Exact
    [16]
    Suffix
    , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  16. Start
    4916
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни
    Exact
    [17]
    Suffix
    , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  17. Start
    4932
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски
    Exact
    [18]
    Suffix
    , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  18. Start
    4952
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  19. Start
    4986
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни
    Exact
    [17]
    Suffix
    , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  20. Start
    5002
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски
    Exact
    [18]
    Suffix
    , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.
    (check this in PDF content)

  21. Start
    5022
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.
    (check this in PDF content)

  22. Start
    5042
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-
    Exact
    [17]
    Suffix
    , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.
    (check this in PDF content)

  23. Start
    5059
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски
    Exact
    [18]
    Suffix
    , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-м
    (check this in PDF content)

  24. Start
    5079
    Prefix
    В настоящее время существует большое количество методик [14, 15], позволяющих синтезировать Cu-наноструктуры с различной морфологией (кубики [16], наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктур
    (check this in PDF content)

  25. Start
    5111
    Prefix
    К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски
    Exact
    [18]
    Suffix
    , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктуры с заданными параметрами, что я
    (check this in PDF content)

  26. Start
    5131
    Prefix
    К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктуры с заданными параметрами, что является основным сде
    (check this in PDF content)

  27. Start
    5151
    Prefix
    К сожа-[16] , наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-
    Exact
    [18]
    Suffix
    , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктуры с заданными параметрами, что является основным сдерживающим фактором д
    (check this in PDF content)

  28. Start
    5173
    Prefix
    К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктуры с заданными параметрами, что является основным сдерживающим фактором для практического приме
    (check this in PDF content)

  29. Start
    5209
    Prefix
    К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктуры с заданными параметрами, что является основным сдерживающим фактором для практического применения.
    (check this in PDF content)

  30. Start
    5229
    Prefix
    К сожа-, наностержни [17], нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-
    Exact
    [19]
    Suffix
    и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в [14–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктуры с заданными параметрами, что является основным сдерживающим фактором для практического применения.
    (check this in PDF content)

  31. Start
    5284
    Prefix
    К сожа-[17] , нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанодиски [18], нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[18] , нанопроволоки [19] и др.). К сожа-, нанопроволоки [19] и др.). К сожа-[19] и др.). К сожа- и др.). К сожалению, описанные в
    Exact
    [14–19]
    Suffix
    методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-–19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и нанострукту-19] методы не позволяют надежно получать Cu-микро- и наноструктуры с заданными параметрами, что является основным сдерживающим фактором для практического применения.
    (check this in PDF content)

  32. Start
    8301
    Prefix
    Для электрохимического осаждения Cu в нанопоры применялся электролит на основе борной кислоты (0,5 моль/л H3BO3) и раствора, содержащего сульфат меди (0,01 моль/л CuSO4) и используемого в качестве источника катионов. Применение таких электролитов способствовало максимальной скорости процесса, а потенциал осаждения минус 1 В приводил к выходу меди по току (97±3) %
    Exact
    [20]
    Suffix
    . При осаждении в течение 22 с величина заряда составила (21±2) мкКл/см2, что по расчетам должно соответствовать полному заполнению пор. Погрешность измерений потенциалов при осаждении составляла не более 1 мВ, токов – 25 нА.
    (check this in PDF content)

  33. Start
    11536
    Prefix
    Наличие наиболее характер-0,362 нм (рис. 2). Наличие наиболее характерных рефлексов (220), (200) и (111) свидетельствует об отсутствии текстурирования, что хорошо согласуется с литературными данными
    Exact
    [21, 22]
    Suffix
    . На рентгенограмме отсутствуют пики, характерные для SiO2, который может образовываться при осаждении. Анализ морфологии медного осадка, как и определение формы и размеров отдельных кластеров, проводили при ПЭМ-исследовании реплик с «оттенением», с «извлечением», а также с изучением картин микродифракции выделенного участка с фрагментом извлечения (рис. 3).
    (check this in PDF content)