The 9 reference contexts in paper A. Volochko T., V. Zelenin A., G. Markov V., E. Narushko O., А. Волочко Т., В. Зеленин А., Г. Марков В., Е. Нарушко О. (2016) “Влияние шероховатости поверхности подложек на экранирующие от электромагнитных излучений свойства формируемых на них покрытий // Influence of surface roughness of substrate layers on electromagnetic radiation shielding characteristics of coatings deposited on them” / spz:neicon:vestift:y:2015:i:3:p:96-99

  1. Start
    2892
    Prefix
    Известно, что слои из материалов с высокими значениями относительной магнитной проницаемости (пермаллой, электротехническая сталь, сепермаллой и др.) хорошо поглощают ЭМИ в диапазонах частот 0,1–10 кГц и > 1 МГц, замыкая линии магнитного поля через толщу ферромагнитной пленки
    Exact
    [1]
    Suffix
    . При частотах от 0,1 до 1 МГц, где величина потерь ЭМИ за счет механизма отражения преобладает над величиной потерь за счет механизма поглощения, эффективно использование высокоэлектропроводящих слоев (Cu, Ag) [1].
    (check this in PDF content)

  2. Start
    3107
    Prefix
    При частотах от 0,1 до 1 МГц, где величина потерь ЭМИ за счет механизма отражения преобладает над величиной потерь за счет механизма поглощения, эффективно использование высокоэлектропроводящих слоев (Cu, Ag)
    Exact
    [1]
    Suffix
    . Следовательно, эффективность экранирования (Э) многослойного покрытия будет тем выше, чем больше значения электропроводности σ или относительной магнитной проницаемости μ его 97 отдельных слоев. Поскольку данные параметры в тонких пленках можно изменять в широких пределах (μ ∼ в 1⋅106 раз, σ ∼ в 1 ⋅ 105 раз), то они и вносят основной вклад в эффективность экранирования покрытия [2]: Э = (0,
    (check this in PDF content)

  3. Start
    3493
    Prefix
    Следовательно, эффективность экранирования (Э) многослойного покрытия будет тем выше, чем больше значения электропроводности σ или относительной магнитной проницаемости μ его 97 отдельных слоев. Поскольку данные параметры в тонких пленках можно изменять в широких пределах (μ ∼ в 1⋅106 раз, σ ∼ в 1 ⋅ 105 раз), то они и вносят основной вклад в эффективность экранирования покрытия
    Exact
    [2]
    Suffix
    : Э = (0,5 ⋅ 2π f μ σ)0,5h + 20 lg(0,25ε0ε (σ/2π f μ)0,5), (1) где Э – эффективность экранирования ЭМИ, дБ; f – частота ЭМИ, Гц; μ – относительная магнитная проницаемость покрытия; σ – электропроводность покрытия, См/м; h – толщина слоя покрытия, м; ε0 – диэлектрическая проницаемость вакуума; ε – диэлектрическая проницаемость материала покрытия.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    4054
    Prefix
    В качестве ферромагнитного слоя экранирующего ЭМИ покрытия выбран пермаллой, в качестве диамагнитного слоя с высокой электропроводностью – медь. Толщины слоев определены из условий соответствия с толщиной скин-слоя
    Exact
    [1, 2]
    Suffix
    и обеспечения высокой адгезии к подложке и к нижележащим слоям: 100 нм Cu + 400 нм Ni80Fe20. Экранирующее ЭМИ покрытие состава 100 нм Cu + 400 нм Ni80Fe20 наносили на поверх- ность полированных пластин, а также на поверхность пластин с различной шероховатостью электронно-лучевым методом на вакуумной установке ВУ-1А.
    (check this in PDF content)

  5. Start
    5045
    Prefix
    Кроме того, толщину слоев наносимых металлов и сплавов контролировали по пропусканию света определенной длины волны. Для каждого металла она выбиралась из его известных оптических характеристик. Погрешность измерения толщины слоев не превышала 5 нм
    Exact
    [3]
    Suffix
    . Поверхностное сопротивление покрытий измеряли четырехзондовым методом. Для определения экранирующих характеристик использовали панорамный измеритель ослабления КСВН Я2Р-67 с ГКЧ-61 и волноводным трактом, обеспечивающий выделение и детектирование уровней падающей и отраженной волн ЭМИ, поглощенных образцом и отраженных от него.
    (check this in PDF content)

  6. Start
    5591
    Prefix
    Для исследуемых образцов экспериментально получены значения коэффициента передачи, равного абсолютной величине ослабления ЭМИ, и коэффициента стоячей волны по напряжению, переведенного в коэффициент отражения
    Exact
    [4]
    Suffix
    . Результаты измерений поверхностного электросопротивления ρ вышеуказанных покрытий, нанесенных на пластины из поликарбоната с различной шероховатостью Rz в разных диапазонах, представлены на рис. 1.
    (check this in PDF content)

  7. Start
    7130
    Prefix
    Как следует из данных рис. 2, шероховатость пластин в интервале 0,05–12,5 мкм незначительно влияет на величину эффективности экранирования ЭМИ (Э ≤ 30 дБ). Это объясняется тем, что существенный вклад в отражение электромагнитной волны вносит диффузная составляющая, которую невозможно измерить
    Exact
    [5]
    Suffix
    . Однако для λ = 3 ⋅ 10−2 м (рис. 2, б, кривая 4) шероховатость поверхности в интервале 0,1–1 мм существенно влияет на величину Э, которая повышается до 45–55 дБ. Полученные результаты не противоречат характеру индикатрисы рассеяния ЭМИ, зависящему от отношения высоты неровностей профиля Rz к длине падающей электромагнитной волны λ, т. е. от параметра Релея η [6, 7]: sin , Rz η=β λ (2) где R
    (check this in PDF content)

  8. Start
    7491
    Prefix
    Полученные результаты не противоречат характеру индикатрисы рассеяния ЭМИ, зависящему от отношения высоты неровностей профиля Rz к длине падающей электромагнитной волны λ, т. е. от параметра Релея η
    Exact
    [6, 7]
    Suffix
    : sin , Rz η=β λ (2) где Rz – высота неровностей профиля; λ – длина волны ЭМИ; β – угол скольжения волны электромагнитного поля над неровной поверхностью, отсчитываемый от среднего уровня поверхности.
    (check this in PDF content)

  9. Start
    7804
    Prefix
    Rz к длине падающей электромагнитной волны λ, т. е. от параметра Релея η [6, 7]: sin , Rz η=β λ (2) где Rz – высота неровностей профиля; λ – длина волны ЭМИ; β – угол скольжения волны электромагнитного поля над неровной поверхностью, отсчитываемый от среднего уровня поверхности. Чем больше значение параметра Релея η, тем сильнее влияние неровностей на отражение от исследуемой поверхности. В
    Exact
    [8]
    Suffix
    получены решения задач отражения волн от тел разной формы и с различной шероховатостью поверхностей указанными значениями параметра Релея. Анализ данных решений показывает, что, начиная со значений η ≥ 0,1, необходимо принимать во внимание неровности на поверхностях отражающих тел.
    (check this in PDF content)