The 11 reference contexts in paper N. Gaponenko V., Н. Гапоненко В. (2016) “Формирование и перспективы применения пленочных структур с использованием анодирования, золь-гель-синтеза и фотолитографии // Formation and prospects of application of film structures with anodizing, sol-gel synthesis and photolithography” / spz:neicon:vestift:y:2014:i:1:p:108-111

  1. Start
    634
    Prefix
    Пленочные структуры, сформированные электрохимическим анодированием алюминия и золь-гель-методом, представляют интерес для различного применения . Возможность изменения периода ячейки и размера пор пористого анодного оксида алюминия (ПАОА)
    Exact
    [1]
    Suffix
    , а также формирование регулярной высокоупорядоченной структуры [2] повышают интерес к использованию пленок ПАОА для планарных фотонно-кристаллических волноводов, в которых снижение потерь электромагнитного излучения при распространении по волноводу обеспечивается за счет интерференции в двумерном фотонном кристалле [3] .
    (check this in PDF content)

  2. Start
    701
    Prefix
    Пленочные структуры, сформированные электрохимическим анодированием алюминия и золь-гель-методом, представляют интерес для различного применения . Возможность изменения периода ячейки и размера пор пористого анодного оксида алюминия (ПАОА) [1], а также формирование регулярной высокоупорядоченной структуры
    Exact
    [2]
    Suffix
    повышают интерес к использованию пленок ПАОА для планарных фотонно-кристаллических волноводов, в которых снижение потерь электромагнитного излучения при распространении по волноводу обеспечивается за счет интерференции в двумерном фотонном кристалле [3] .
    (check this in PDF content)

  3. Start
    957
    Prefix
    периода ячейки и размера пор пористого анодного оксида алюминия (ПАОА) [1], а также формирование регулярной высокоупорядоченной структуры [2] повышают интерес к использованию пленок ПАОА для планарных фотонно-кристаллических волноводов, в которых снижение потерь электромагнитного излучения при распространении по волноводу обеспечивается за счет интерференции в двумерном фотонном кристалле
    Exact
    [3]
    Suffix
    . Фотолюминесценция тербия и европия, введенного в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии [4] .
    (check this in PDF content)

  4. Start
    1230
    Prefix
    Фотолюминесценция тербия и европия, введенного в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии
    Exact
    [4]
    Suffix
    . Люминесценция эрбия в составе оксидов, сформированных в ПАОА золь-гель-методом, указывает на перспективу разработки микролазеров [5] и планарных эрбиевых усилителей [6] . Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение д
    (check this in PDF content)

  5. Start
    1366
    Prefix
    тербия и европия, введенного в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии [4] . Люминесценция эрбия в составе оксидов, сформированных в ПАОА золь-гель-методом, указывает на перспективу разработки микролазеров
    Exact
    [5]
    Suffix
    и планарных эрбиевых усилителей [6] . Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение для пленочных конверторов рентгеновского излучения [7, 8] .
    (check this in PDF content)

  6. Start
    1402
    Prefix
    в поры анодного оксида алюминия в процессе золь-гель-синтеза или методом осаждения солей из растворов в соответствии с рисунком изображения, представляет интерес для изготовления элементов защиты информации на алюминии [4] . Люминесценция эрбия в составе оксидов, сформированных в ПАОА золь-гель-методом, указывает на перспективу разработки микролазеров [5] и планарных эрбиевых усилителей
    Exact
    [6]
    Suffix
    . Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение для пленочных конверторов рентгеновского излучения [7, 8] .
    (check this in PDF content)

  7. Start
    1684
    Prefix
    Синтез радиационно-стойких композитов золь-гель-методом или соосаждением (в частности, гранатов и перовскитов, легированных лантаноидами, и их люминесценция под воздействием рентгеновского излучения) может найти применение для пленочных конверторов рентгеновского излучения
    Exact
    [7, 8]
    Suffix
    . Для практического использования пленок ПАОА, содержащего композит в порах или на его поверхности, требуется разработка технологии формирования рисунка для структуры композит/ ПАОА в соответствии с рисунком фотошаблона .
    (check this in PDF content)

  8. Start
    2056
    Prefix
    Для практического использования пленок ПАОА, содержащего композит в порах или на его поверхности, требуется разработка технологии формирования рисунка для структуры композит/ ПАОА в соответствии с рисунком фотошаблона . При этом, несмотря на ряд разработок формирования рисунка для сравнительно тонких пленок ПАОА с использованием нанесения металлической маски
    Exact
    [9]
    Suffix
    , целесообразно развитие технологии формирования подобных структур для толстых пленок ПАОА с морфологией, соответствующей рисунку фотошаблона без металлической маски, что понизило бы себестоимость изготовления подобных структур .
    (check this in PDF content)

  9. Start
    3868
    Prefix
    различной морфологии в качестве электролита применялись водные растворы щавелевой кислоты концентрацией 0,4 моль/л при напряжении анодирования 30 В, ортофосфорной кислоты концентрацией 1 моль/л при напряжении 100 В, 10%-ной серной кислоты с прибавлением 5 % щавелевой кислоты при напряжении 20 В. Далее пленки ПАОА покрывались слоем ксерогеля. Для синтеза ксерогеля приготовлен золь по методике
    Exact
    [10]
    Suffix
    , соответствующий составу 40%TiO2/60%Eu2O3. По нашим данным, синтез пленок оксида титана золь-гель-методом дает более воспроизводимые результаты по сравнению с пленками ксерогелей, соответствующих составу оксида кремния, оксида алюминия и виллемита.
    (check this in PDF content)

  10. Start
    5454
    Prefix
    Проведенные ранее исследования методами атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии вторичных ионов показали, что последовательное нанесение от 1 до 10 слоев ксерогеля оксида титана на ПАОА с размером пор 30–40 нм центрифугированием и термообработкой при 900 °С приводит к проникновению ксерогеля в поры, формированию слоя ксерогеля на поверхности ПАОА и планаризации поверхности
    Exact
    [11]
    Suffix
    . Травление структуры и морфология протравленных участков при этом не исследовались. При использовании пленок ПАОА на алюминии температура термообработки снижается до 400–500 °С. Анализ морфологии сформированных структур показывает, что при размере пор более 50 нм пленка ксерогеля оксида титана на его поверхности формируется несплошная и неоднородная, что обусловлено, на наш взгляд, частичным з
    (check this in PDF content)

  11. Start
    7856
    Prefix
    Длина волны возбуждения составляла 280 нм . Незначительное изменение интенсивности люминесценции с ростом числа слоев обусловлено поглощением возбуждающего излучения ксерогелем оксида титана
    Exact
    [12]
    Suffix
    . Заключение. Таким образом, методом растровой электронной микроскопии проведен Рис . 2 . Микрофотографии поверхности пленок ПАОА: а – пленки ПАОА, полученные в растворе щавелевой кислоты концентрацией 0,4 моль/л при напряжении 30 В; б – пленки ПАОА, полученные в 10%-ном растворе серной кислоты с прибавлением 5% щавелевой кислоты при напряжении 20 В Рис . 3 .
    (check this in PDF content)