The 11 references with contexts in paper A. Zhukov V., V. Pozdnyakov G., V. Ryazanov A., А. Жуков В., В. Поздняков Г., В. Рязанов А. (2016) “Исследование влияния плотности ионного тока на образование дефектов на поверхности ситалла при ионно-лучевой обработке // Research of the Ion Current Density Influence on the Glass-Ceramics Surface Defects Forming under Ion-Beam Processing” / spz:neicon:technomag:y:2015:i:6:p:397-408

1
Абдулкадыров М.А., Аннушкин С.И., Герасимов В.М., Молев В.И., Патрикеев А.П., Румянцев В.В., Самуйлов А.В. Заготовки для астрономической оптики из оптического ситалла СО-115М // Формообразование оптических поверхностей: тр. международной академии «Контенант», Российское отделение. Т. 2. М., 2005. С. 105-114.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=1404
    Prefix
    В качестве ионного источника использовался ускоритель с анодным слоем с э лектромагнитной фокусировкой ионного пучка и компенсацией избыточного заряда на остаточном газе. Ключевые слова: астроситалл, разрушение повер хности, ионно-лучевая обработка Введение Благодаря своим уникальным теплофизическим свойствам астроситаллы
    Exact
    [1]
    Suffix
    (стеклокристаллические материалы на основе системы Li2O – Al2O3 – SiO2), получили широкое распространение в оптической промышленности. Эти материалы применяют для изготовления оптических деталей самых разных форм и размеров: от главных зеркал больших телескопов, до миниатюрных элементов лазерных гироскопов.

2
Arnold T., Bohm G., Fechner R., Meister J., N ickel A., Frost F., Hansel T., Schindler A. Ultra-precision surface finishing by ion beam and plasma jet techniques – status and outlook // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 2010. Vol. A 616, iss. 2-3. P. 147-156. DOI: 10.1016/j.nima.2009.11.013
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2380
    Prefix
    Например, наибольшие допустимые отклонения формы асферических зеркал телескопов могут достигать λ/100 (λ – длина волны), а шероховатость поверхности элементов лазерной ультрафиолетовой оптики – не более 0,1 нм (RMS)
    Exact
    [2]
    Suffix
    . Такие параметры невозможно получить при использовании традиционных механических методов формообразования. Поэтому на последней стадии изготовления оптической детали, применяется ионно-лучевая обработка (ИЛО).

3
Frost F., Fechner R., Ziberi B., Völlner J., Flamm D., Schindler A. Large area smoothing of surfaces by ion bombardment: fundamentals and applications // Journal of Physics: Condensed Matter. 2009. Vol. 21, no. 22. Art. no. 224026. DOI: 10.1088/09538984/21/22/224026
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2850
    Prefix
    В основе этого метода лежит распыление поверхности твердого тела высокоэнергичными ионами тяжелых газов (чаще всего, ионами аргона). В технологических установках, реализующих метод ИЛО
    Exact
    [3, 4, 5]
    Suffix
    , для получения заданной формы поверхности применяется непрерывное сканирование ионного пучка по поверхности заготовки по установленной программе. В результате, при такой обработке усредненная по всей поверхности плотность мощности, приносимой ионами, оказывается значительно меньше плотности мощности в ионном пучке.

4
Wilson S.R., Reicher D.W., McNeil J.R. Surface Figuring Using Neutral Ion Beams // SPIE Vol. 0966. Advances in Fabrication and Metrology for Optics and Large Optics. 1989. P. 74-81. DOI: 10.1117/12.948051
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2850
    Prefix
    В основе этого метода лежит распыление поверхности твердого тела высокоэнергичными ионами тяжелых газов (чаще всего, ионами аргона). В технологических установках, реализующих метод ИЛО
    Exact
    [3, 4, 5]
    Suffix
    , для получения заданной формы поверхности применяется непрерывное сканирование ионного пучка по поверхности заготовки по установленной программе. В результате, при такой обработке усредненная по всей поверхности плотность мощности, приносимой ионами, оказывается значительно меньше плотности мощности в ионном пучке.

5
Ghigo M., Canestrari R., Spiga D., Novi A. Correction of high spatial frequency errors on optical surfaces by means of Ion Beam Figuring // SPIE Vol. 6671. Optical Manufacturing and Testing VII. 2007. Art. no. 667114. DOI: 10.1117/12.734273
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2850
    Prefix
    В основе этого метода лежит распыление поверхности твердого тела высокоэнергичными ионами тяжелых газов (чаще всего, ионами аргона). В технологических установках, реализующих метод ИЛО
    Exact
    [3, 4, 5]
    Suffix
    , для получения заданной формы поверхности применяется непрерывное сканирование ионного пучка по поверхности заготовки по установленной программе. В результате, при такой обработке усредненная по всей поверхности плотность мощности, приносимой ионами, оказывается значительно меньше плотности мощности в ионном пучке.

6
Wenlin Liao, Yifan Dai, Xuhui Xie, Lin Zhou. Microscopic morphology evolution during ion beam smoothing of Zerodur surfaces // Optics Express. 2014. Vol. 22, no. 1. P. 377-386. DOI: 10.1364/O E.22.000377
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3542
    Prefix
    Для снижения временных затрат необходимо повышать плотность мощности ионного пучка. Однако, ионная обработка поверхности астроситалла при повышении плотности мощности приводит к снижению качества поверхности
    Exact
    [6]
    Suffix
    . Одной из причин снижения качества является увеличение шероховатости из-за неравномерности скорости ионного распыления различно ориентированных кристаллитов материала. Другая причина снижения качества заключается в появлении на поверхности астроситалла микроскопических дефектов, внешне напоминающих сколы [7].

7
Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Воробьев Е.В., Азербаев А.А. Влияние режима ионной обработки на плотность дефектов и разрушение поверхности астроситалла // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2014. No 12. С. 181191. DOI: 10.7463/1214.0748236
Total in-text references: 3
  1. In-text reference with the coordinate start=3891
    Prefix
    Одной из причин снижения качества является увеличение шероховатости из-за неравномерности скорости ионного распыления различно ориентированных кристаллитов материала. Другая причина снижения качества заключается в появлении на поверхности астроситалла микроскопических дефектов, внешне напоминающих сколы
    Exact
    [7]
    Suffix
    . После интенсивной ионной обработки обнаружены. Показано, что количество дефектов растет с ростом плотности мощности ионного пучка, причем процесс образования дефектов носит пороговый характер: при низких интенсивностях пучка качество поверхности не ухудшается.

  2. In-text reference with the coordinate start=7912
    Prefix
    Все участки фотографировались при помощи микроскопа CarlZeiss LSM 700. Затем при помощи программного обеспечения микроскопа на каждой фотографии были измерены латеральные размеры всех попавших в поле зрение дефектов. В отличие от работы
    Exact
    [7]
    Suffix
    , в которой в качестве меры поверхностной плотности дефектов было принято отношение суммарной площади дефектов рассматриваемом участке к общей площади участка, в данной работе плотность дефектов определяется их количеством на единицу площади.

  3. In-text reference with the coordinate start=12218
    Prefix
    В тоже время, для изделий, предназначенных для работы в видимом, или ультрафиолетовом диапазонах дефекты поверхности могут привести к значительному рассеянию излучения, поэтому при их обработке необходимо снижать интенсивность ионного пучка, или использовать режимы, вовсе не приводящие к образованию дефектов
    Exact
    [7]
    Suffix
    . Но использование таких режимов приведет к значительному увеличению длительности процесса обработки изделия. Приведенные результаты будут полезны для прогнозирования степени разрушения поверхности оптических деталей из астроситалла при ионно-лучевом формообразовании, а также для определения допустимых плотностей мощности ионного пучка в процессе обработки.

8
Духопельников Д.В., Воробьев Е.В., Ивахненко С.Г. Исследование и оптимизация характеристик ионного источника ИИ-200 // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2011. No 10. Режим доступа: http://www.technomag.edu.ru/doc/230165.html (дата обращения 01.05.2015).
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=4878
    Prefix
    Оборудование и методика эксперимента Объектом исследования служила круглая пластина из оптического ситалла марки СО-115М (рис. 1) диаметром 180 мм и толщиной 25 мм. В качестве ионного источника применялся ускоритель с анодным слоем и фокусированным ионным пучком УАС-100К. В отличие от ускорителей с замкнутым электронным дрейфом традиционной конструкции
    Exact
    [8]
    Suffix
    , УАС-100К, благодаря компенсации азимутального смещения ионов в канале [9, 10, 11] и конической форме полюсных наконечников, создает ионный пучок с гауссовым распределением плотности тока по радиусу.

9
Воробьев Е.В., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Жуков А.В., Кириллов Д.В., Марахтанов М.К. Холловский ускоритель с фокусированным пучком для наноразмерной обработки крупногабаритных зеркал оптических телескопов // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2011. Спец. вып. Ионноплазменные технологии. С. 35-41.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=4962
    Prefix
    В качестве ионного источника применялся ускоритель с анодным слоем и фокусированным ионным пучком УАС-100К. В отличие от ускорителей с замкнутым электронным дрейфом традиционной конструкции [8], УАС-100К, благодаря компенсации азимутального смещения ионов в канале
    Exact
    [9, 10, 11]
    Suffix
    и конической форме полюсных наконечников, создает ионный пучок с гауссовым распределением плотности тока по радиусу. Ускоритель работал на аргоне. Компенсация избыточного положительного заряда ионного пучка происходила за счет вторичной эмиссии со стенок вакуумной камеры и оснастки, а также за счет ионизации остаточного газа.

10
Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Воробьев Е.В., Крылов В.И. Влияние азимутального отклонения ионов плазменной струи на тяговый КПД двигателя с анодным слоем // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2012. No 12. С. 219-232. DOI: 10.7463/1212.0483944
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=4962
    Prefix
    В качестве ионного источника применялся ускоритель с анодным слоем и фокусированным ионным пучком УАС-100К. В отличие от ускорителей с замкнутым электронным дрейфом традиционной конструкции [8], УАС-100К, благодаря компенсации азимутального смещения ионов в канале
    Exact
    [9, 10, 11]
    Suffix
    и конической форме полюсных наконечников, создает ионный пучок с гауссовым распределением плотности тока по радиусу. Ускоритель работал на аргоне. Компенсация избыточного положительного заряда ионного пучка происходила за счет вторичной эмиссии со стенок вакуумной камеры и оснастки, а также за счет ионизации остаточного газа.

11
Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Воробьев Е.В. Экспериментальное подтверждение эффекта азимутального отклонения ионов в двигателях с анодным слоем // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2012. No 11. С. 233-238. DOI: 10.7463/1112.0483882
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=4962
    Prefix
    В качестве ионного источника применялся ускоритель с анодным слоем и фокусированным ионным пучком УАС-100К. В отличие от ускорителей с замкнутым электронным дрейфом традиционной конструкции [8], УАС-100К, благодаря компенсации азимутального смещения ионов в канале
    Exact
    [9, 10, 11]
    Suffix
    и конической форме полюсных наконечников, создает ионный пучок с гауссовым распределением плотности тока по радиусу. Ускоритель работал на аргоне. Компенсация избыточного положительного заряда ионного пучка происходила за счет вторичной эмиссии со стенок вакуумной камеры и оснастки, а также за счет ионизации остаточного газа.