The 15 references with contexts in paper A. Azerbaev A., D. Duhopel'nikov V., E. Vorob'ev V., S. Ivakhnenko G., А. Азербаев А., Д. Духопельников В., Е. Воробьев В., С. Ивахненко Г. (2016) “Влияние режима ионной обработки на плотность дефектов и разрушение поверхности астроситалла // Influence of the Ion Treatment Regime on Defects Density and Surface Destruction of the Polycrystalline Glass” / spz:neicon:technomag:y:2014:i:2:p:181-191

1
Абдулкадыров М.А., Аннушкин С.И., Герасимов В.М., Молев В.И., Патрикеев А.П., Румянцев В.В., Самуйлов А.В. Заготовки для астрономической оптики из оптического ситалла СО-115М // Формообразование оптических поверхностей: труды международной академии «Контенант», Российское отделение. Т. 1. М., 2005. С. 105-114.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2079
    Prefix
    В результате, на смену традиционным маркам аморфного стекла в оптическую промышленность пришли стеклокристаллические материалы, ситаллы. Наибольшее распространение получили материал СО115М (астроситалл) и его зарубежный аналог Zerodur
    Exact
    [1]
    Suffix
    . Эти материалы являются ситаллами сподуменового состава [2], в основе которых лежит стекло системы Li2O – Al2O3 – SiO2. Благодаря присутствию в составе фаз с положительным и отрицательным коэффициентом расширения, суммарный температурный коэффициент линейного расширения материала близок к нулю.

2
Павлушкин. Н.М. Химическая технология стекла и ситаллов. М.: Стройиздат, 1983. 432 с.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2140
    Prefix
    В результате, на смену традиционным маркам аморфного стекла в оптическую промышленность пришли стеклокристаллические материалы, ситаллы. Наибольшее распространение получили материал СО115М (астроситалл) и его зарубежный аналог Zerodur [1]. Эти материалы являются ситаллами сподуменового состава
    Exact
    [2]
    Suffix
    , в основе которых лежит стекло системы Li2O – Al2O3 – SiO2. Благодаря присутствию в составе фаз с положительным и отрицательным коэффициентом расширения, суммарный температурный коэффициент линейного расширения материала близок к нулю.

3
Мартынов М.И., Михнев Р.А., Семенов А.П., Штандель С.К. Технология и метрология малоразмерной ионно-лучевой обработки оптических деталей // Формообразование оптических поверхностей: труды международной академии «Контенант», Российское отделение. Т. 1. М., 2005. С. 151-170.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2716
    Prefix
    Помимо требований к характеристикам материала, растут и требования к качеству и точности обработки рабочих поверхностей оптических деталей. Необходимая точность обработки достигает λ/100 (где λ – длина волны используемого излучения), а шероховатость – 0,1 нм (RMS) и ниже
    Exact
    [3, 4]
    Suffix
    . Для достижения таких параметров после всех стадий механической обработки оптические детали обрабатывают направленными пучками ускоренных тяжелых частиц, чаще всего ионами аргона [5]. В результате ионной бомбардировки с поверхности образца удаляется слой нужной толщины, а шероховатость сглаживается.

4
Arnold T., Bohm G., Fechner R., Meister J., Nickel A., Frost F., Hansel T., Schindler A. Ultra-precision surface finishing by ion beam and plasma jet techniques – status and outlook // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 2010. Vol. 616, is. 2-3. P. 147-156. DOI: 10.1016/j.nima.2009.11.013
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2716
    Prefix
    Помимо требований к характеристикам материала, растут и требования к качеству и точности обработки рабочих поверхностей оптических деталей. Необходимая точность обработки достигает λ/100 (где λ – длина волны используемого излучения), а шероховатость – 0,1 нм (RMS) и ниже
    Exact
    [3, 4]
    Suffix
    . Для достижения таких параметров после всех стадий механической обработки оптические детали обрабатывают направленными пучками ускоренных тяжелых частиц, чаще всего ионами аргона [5]. В результате ионной бомбардировки с поверхности образца удаляется слой нужной толщины, а шероховатость сглаживается.

5
Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии. М.: Машиностроение, 1989. 56 с.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2910
    Prefix
    Необходимая точность обработки достигает λ/100 (где λ – длина волны используемого излучения), а шероховатость – 0,1 нм (RMS) и ниже [3, 4]. Для достижения таких параметров после всех стадий механической обработки оптические детали обрабатывают направленными пучками ускоренных тяжелых частиц, чаще всего ионами аргона
    Exact
    [5]
    Suffix
    . В результате ионной бомбардировки с поверхности образца удаляется слой нужной толщины, а шероховатость сглаживается. Ионно-лучевому формообразованию и полировке поверхностей оптических деталей посвящено большое количество публикаций [6, 7, 8].

6
Frost F., Fechner R., Ziberi B., Völlner J., Flamm D., Schindler A. Large area smoothing of surfaces by ion bombardment: fundamentals and applications // J. Phys.: Condens. Matter. 2009. Vol. 21, no. 22. Art. no. 224026 (20 pp.). DOI: 10.1088/0953-8984/21/22/224026
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3153
    Prefix
    В результате ионной бомбардировки с поверхности образца удаляется слой нужной толщины, а шероховатость сглаживается. Ионно-лучевому формообразованию и полировке поверхностей оптических деталей посвящено большое количество публикаций
    Exact
    [6, 7, 8]
    Suffix
    . Благодаря ионно-лучевой обработке (ИЛО) удается снизить шероховатость большинства применяемых в оптике материалов до значений 0,2 нм (RMS) и ниже. В тоже время, во многих работах отмечается, что, в отличие от других оптических материалов, при обработке астроситалла шероховатость поверхности возрастает.

7
Wilson S.R., Reicher D.W., McNeil J.R. Surface Figuring Using Neutral Ion Beams // Proc. SPIE. Vol. 0966. Advances in Fabrication and Metrology for Optics and Large Optics. 1989. P. 74-81. DOI: 10.1117/12.948051
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3153
    Prefix
    В результате ионной бомбардировки с поверхности образца удаляется слой нужной толщины, а шероховатость сглаживается. Ионно-лучевому формообразованию и полировке поверхностей оптических деталей посвящено большое количество публикаций
    Exact
    [6, 7, 8]
    Suffix
    . Благодаря ионно-лучевой обработке (ИЛО) удается снизить шероховатость большинства применяемых в оптике материалов до значений 0,2 нм (RMS) и ниже. В тоже время, во многих работах отмечается, что, в отличие от других оптических материалов, при обработке астроситалла шероховатость поверхности возрастает.

8
Young-Sik Ghim, Shin-Jae You, Hyug-Gyo Rhee, Ho-Soon Yang, Yun-Woo Lee. Ultraprecision surface polishing using ion beam figuring // Proc. SPIE. Vol. 8416, 6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Advanced Optical Manufacturing Technologies. 2012. Art. no. 84161O. DOI: 10.1117/12.973725
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3153
    Prefix
    В результате ионной бомбардировки с поверхности образца удаляется слой нужной толщины, а шероховатость сглаживается. Ионно-лучевому формообразованию и полировке поверхностей оптических деталей посвящено большое количество публикаций
    Exact
    [6, 7, 8]
    Suffix
    . Благодаря ионно-лучевой обработке (ИЛО) удается снизить шероховатость большинства применяемых в оптике материалов до значений 0,2 нм (RMS) и ниже. В тоже время, во многих работах отмечается, что, в отличие от других оптических материалов, при обработке астроситалла шероховатость поверхности возрастает.

9
Allen L.N. Progress in ion figuring large optics // Proc. SPIE. Vol. 2428, Laser-Induced Damage in Optical Materials: 1994. 1995. Р. 237-247. DOI: 10.1117/12.213776
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3630
    Prefix
    В тоже время, во многих работах отмечается, что, в отличие от других оптических материалов, при обработке астроситалла шероховатость поверхности возрастает. Отмечено даже значительное, видимое невооруженным взглядом замутнение поверхности астроситалла после обработки ионами аргона с энергией 1000 эВ
    Exact
    [9]
    Suffix
    . Однако, больше упоминаний о значительных повреждениях поверхности оптических деталей из ситалла в результате воздействия ионных потоков в литературе не встречается. В тоже время, во всех работах, посвященных ИЛО оптических изделий, для достижения заданной формы применялось непрерывное сканирование ионного пучка по поверхности образца [10, 11].

10
Ghigo M., Cornelli S.,Canestrari R., Garegnani D. Development of a large ion beam figuring facility for correction of optics up to 1.7 m diameter // Proc. SPIE. Vol. 7426, Optical Manufacturing and Testing VIII. 2009. Art. no. 742611. DOI: 10.1117/12.826433
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3972
    Prefix
    Однако, больше упоминаний о значительных повреждениях поверхности оптических деталей из ситалла в результате воздействия ионных потоков в литературе не встречается. В тоже время, во всех работах, посвященных ИЛО оптических изделий, для достижения заданной формы применялось непрерывное сканирование ионного пучка по поверхности образца
    Exact
    [10, 11]
    Suffix
    . В результате, средняя плотность мощности на обрабатываемой поверхности, оказывалась значительно меньше плотности мощности в ионном пучке. Определению пороговых характеристик ионного пучка, при которых начинается интенсивное разрушение поверхности астроситалла, а также причинам такого разрушения, внимание в литературе не уделяется.

11
Ghigo M., Canestrari R., Spiga D., Novi A. Correction of high spatial frequency errors on optical surfaces by means of Ion Beam Figuring // Proc. SPIE. Vol. 6671, Optical Manufacturing and Testing VII. 2007. Art. no. 667114. DOI: 10.1117/12.734273
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=3972
    Prefix
    Однако, больше упоминаний о значительных повреждениях поверхности оптических деталей из ситалла в результате воздействия ионных потоков в литературе не встречается. В тоже время, во всех работах, посвященных ИЛО оптических изделий, для достижения заданной формы применялось непрерывное сканирование ионного пучка по поверхности образца
    Exact
    [10, 11]
    Suffix
    . В результате, средняя плотность мощности на обрабатываемой поверхности, оказывалась значительно меньше плотности мощности в ионном пучке. Определению пороговых характеристик ионного пучка, при которых начинается интенсивное разрушение поверхности астроситалла, а также причинам такого разрушения, внимание в литературе не уделяется.

12
Воробьев Е.В., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Жуков А.В., Кириллов Д.В., Марахтанов М.К. Холловский ускоритель с фокусированным пучком для наноразмерной обработки крупногабаритных зеркал оптических телескопов // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2011. Спец. вып. Ионно-плазменные технологии. С. 35-41.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=5088
    Prefix
    Давление в вакуумной камере измерялось инверсно-магнетронным вакуумметром MKS Instruments 972 DualMag. Остаточное давление в вакуумной камере во всех экспериментах не превышало 2∙10 -4 Па. В качестве ионного источника использовался ускоритель с анодным слоем УАС100К
    Exact
    [12]
    Suffix
    . Ускоритель оснащен системой компенсации азимутального поворота ионов в ускорительном канале и коническими полюсными наконечниками [13, 14]. В результате, обеспечивается фокусировка ионного пучка в пятно с гауссовым распределением плотности ионного тока по радиусу.

13
Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Воробьев Е.В., Крылов В.И. Влияние азимутального отклонения ионов плазменной струи на тяговый КПД двигателя с анодным слоем // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2012. No 12. С. 219-232. DOI: 10.7463/1212.0483944
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=5233
    Prefix
    В качестве ионного источника использовался ускоритель с анодным слоем УАС100К [12]. Ускоритель оснащен системой компенсации азимутального поворота ионов в ускорительном канале и коническими полюсными наконечниками
    Exact
    [13, 14]
    Suffix
    . В результате, обеспечивается фокусировка ионного пучка в пятно с гауссовым распределением плотности ионного тока по радиусу. Фокальная плоскость рассоложена на расстоянии 400 мм от выхода из ускорительного канала.

14
Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Воробьев Е.В. Экспериментальное подтверждение эффекта азимутального отклонения ионов в двигателях с анодным слоем // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2012. No 11. С. 233-238. DOI: 10.7463/1112.0483882
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=5233
    Prefix
    В качестве ионного источника использовался ускоритель с анодным слоем УАС100К [12]. Ускоритель оснащен системой компенсации азимутального поворота ионов в ускорительном канале и коническими полюсными наконечниками
    Exact
    [13, 14]
    Suffix
    . В результате, обеспечивается фокусировка ионного пучка в пятно с гауссовым распределением плотности ионного тока по радиусу. Фокальная плоскость рассоложена на расстоянии 400 мм от выхода из ускорительного канала.

15
Духопельников Д.В., Юрченко А.А. Экспериментальное исследование технологического ускорителя "радикал" без катода компенсатора // Вестник МГТУ им. Н.Э. Баумана. Сер. Машиностроение. 2004. No 3. С. 74-83. Science and Education of the Bauman MSTU,
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=5645
    Prefix
    Фокальная плоскость рассоложена на расстоянии 400 мм от выхода из ускорительного канала. Ускоритель работал без катода-компенсатора, компенсация ионного пучка осуществлялась за счет ионизации остаточной атмосферы
    Exact
    [15]
    Suffix
    . В качестве рабочего вещества использовался аргон, который подавался в ускоритель через регулятор расхода газа MKS Instruments 2179A. Схема экспериментов показана на рисунке 1. Обрабатываемый образец устанавливался на металлическом держателе на расстоянии 400 мм от ионного источника так, что поверхность образца совпадала с фокальной плоскостью ионного пучка.