The 10 reference contexts in paper D. Duhopel'nikov V., Д. Духопельников В. (2016) “Измерение индукции магнитного поля и моделирование холловского тока в разряде магнетронной распылительной системы // Measurement of Magnetic Field and Hall Current Modeling in Discharge of Magnetron Sputtering System” / spz:neicon:technomag:y:2015:i:0:p:12-20

  1. Start
    1491
    Prefix
    Ключевые слова: магнетрон, магнитное поле, искажение, холловский ток, тонкие плёнки, покрытия, плазма Введение Метод магнетронного распыления давно и широко используется в технологии нанесения тонких пленок
    Exact
    [1-4]
    Suffix
    . Однако недостаток знаний о строении магнетронного разряда и особенностях физических процессов в нем ограничивает возможности дальнейшего развития и разработки расчетных методик и методик проектирования магнетронных распылительных систем (МРС).
    (check this in PDF content)

  2. Start
    2583
    Prefix
    Полученные в результате ионизации рабочего газа ионы ускоряются приложенным разрядным напряжением в направлении катода-мишени и распыляют ее. Магнитное поле оказывает слабое влияние на ионы, незначительно меняя их траекторию
    Exact
    [5]
    Suffix
    . При этом в скрещенных электрических и магнитных полях возникает электронный холловский ток плотностью jхолл, который создает на внешней стороне разряда, со стороны анода, магнитное поле Вхолл , усиливающее поле Bм магнитной системы (рис.1).
    (check this in PDF content)

  3. Start
    3455
    Prefix
    Схема полей и токов в разряде МРС: Bм –магнитное поле созданное магнитной системой; Bхолл –магнитное поле холловского тока; E-напряженность электрического поля: jхолл –электронный холловский ток; Veх- скорость дрейфа электронов При теоретическом анализе параметров плазмы в МРС важно знать, допустимо ли пренебрегать изменением магнитного поля в разряде, вызванным холловским током
    Exact
    [6]
    Suffix
    , [7]. Например, импульсные магнетроны (HiPIMS-high power impulse magnetron sputtering) при своей работе могут значительно искажать магнитные поля, создаваемые магнитной системой [8]. Ранее в работе [9] производились оценки отношения холловского тока к току разряда, исходя из предположения о классической проводимости плазмы в магнитном поле.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    3460
    Prefix
    Схема полей и токов в разряде МРС: Bм –магнитное поле созданное магнитной системой; Bхолл –магнитное поле холловского тока; E-напряженность электрического поля: jхолл –электронный холловский ток; Veх- скорость дрейфа электронов При теоретическом анализе параметров плазмы в МРС важно знать, допустимо ли пренебрегать изменением магнитного поля в разряде, вызванным холловским током [6],
    Exact
    [7]
    Suffix
    . Например, импульсные магнетроны (HiPIMS-high power impulse magnetron sputtering) при своей работе могут значительно искажать магнитные поля, создаваемые магнитной системой [8]. Ранее в работе [9] производились оценки отношения холловского тока к току разряда, исходя из предположения о классической проводимости плазмы в магнитном поле.
    (check this in PDF content)

  5. Start
    3636
    Prefix
    холловский ток; Veх- скорость дрейфа электронов При теоретическом анализе параметров плазмы в МРС важно знать, допустимо ли пренебрегать изменением магнитного поля в разряде, вызванным холловским током [6], [7]. Например, импульсные магнетроны (HiPIMS-high power impulse magnetron sputtering) при своей работе могут значительно искажать магнитные поля, создаваемые магнитной системой
    Exact
    [8]
    Suffix
    . Ранее в работе [9] производились оценки отношения холловского тока к току разряда, исходя из предположения о классической проводимости плазмы в магнитном поле. Из них следовало, что холловский ток может превышать ток разряда более чем на два порядка.
    (check this in PDF content)

  6. Start
    3658
    Prefix
    - скорость дрейфа электронов При теоретическом анализе параметров плазмы в МРС важно знать, допустимо ли пренебрегать изменением магнитного поля в разряде, вызванным холловским током [6], [7]. Например, импульсные магнетроны (HiPIMS-high power impulse magnetron sputtering) при своей работе могут значительно искажать магнитные поля, создаваемые магнитной системой [8]. Ранее в работе
    Exact
    [9]
    Suffix
    производились оценки отношения холловского тока к току разряда, исходя из предположения о классической проводимости плазмы в магнитном поле. Из них следовало, что холловский ток может превышать ток разряда более чем на два порядка.
    (check this in PDF content)

  7. Start
    3910
    Prefix
    Ранее в работе [9] производились оценки отношения холловского тока к току разряда, исходя из предположения о классической проводимости плазмы в магнитном поле. Из них следовало, что холловский ток может превышать ток разряда более чем на два порядка. В работе
    Exact
    [10]
    Suffix
    проводились измерения скорости дрейфа электронов и плотности холловского тока зондом Маха, представляющего собой двойной плоский ленгмюровский зонд, и потенциала плазмы горячим ленгмюровским зондом.
    (check this in PDF content)

  8. Start
    4320
    Prefix
    В работе [10] проводились измерения скорости дрейфа электронов и плотности холловского тока зондом Маха, представляющего собой двойной плоский ленгмюровский зонд, и потенциала плазмы горячим ленгмюровским зондом. Но распределения плотности холловского тока по сечению разряда не производилось, что не позволяет точно подсчитать полную его величину. В работе
    Exact
    [11]
    Suffix
    проводили измерения величины холловского тока по изменению величины индукции магнитного поля на границе разряда со стороны анода. Было определено, что величина холловского тока превосходит ток разряда в 2-9 раз.
    (check this in PDF content)

  9. Start
    12094
    Prefix
    Оценка увеличения индукции магнитного поля на оси МРС по выражению (2) даёт результат, близкий к полученным экспериментальным данным. Это согласуется с экспериментальными результатами работы
    Exact
    [11]
    Suffix
    и расчетами, произведенными в работе [8].
    (check this in PDF content)

  10. Start
    12135
    Prefix
    Оценка увеличения индукции магнитного поля на оси МРС по выражению (2) даёт результат, близкий к полученным экспериментальным данным. Это согласуется с экспериментальными результатами работы [11] и расчетами, произведенными в работе
    Exact
    [8]
    Suffix
    .
    (check this in PDF content)