The 17 reference contexts in paper A. Chursin D., A. Grigor'yanc G., G. Paramonova M., I. Kolokolov S., I. Shiganov N., L. Betina L., M. Kazaryan A., N. Lyabin A., V. Klimenko I., V. Paramonov S., А. Григорьянц Г., А. Чурсин Д., В. Клименко И., В. Парамонов С., Г. Парамонова М., И. Колоколов С., И. Шиганов Н., Л. Бетина Л., М. Казарян А., Н. Лябин А. (2016) “Лазер на парах меди с однопучковым излучением дифракционного качества и его возможности для микрообработки материалов изделий электронной техники // Copper Vapor Laser with One-Beam Radiation of Diffraction Quality and Its Capabilities for Microprocessing of Materials for Electronic Engineering Products” / spz:neicon:technomag:y:2014:i:8:p:30-62

  1. Start
    4229
    Prefix
    Кроме того они обладают большим усилением активной среды (k = 10-102 Дб/м) при короткой длительности импульсов (τимп. = 20-40 нс) и малой импульсной энергией (W = 0,1-10 мДж) при высоких частотах повторения импульсов (f = 5-30 кГц)
    Exact
    [1-10]
    Suffix
    . Применение импульсного ЛПМ в технологическом оборудовании для прецизионной микрообработки материалов ИЭТ и в других современных областях (разделение изотопов и получение особо чистых веществ для нужд ядерной энергетики, медицинские технологии, накачка перестраиваемых по длинам волн лазеров на красителях, спектральный анализ состава веществ, локация и навигация, нанотехнология и др.) требует н
    (check this in PDF content)

  2. Start
    8522
    Prefix
    Поэтому в данной работе применительно к импульсному ЛПМ проведены исследования структуры, пространственных, временных и энергетическими характеристик излучения с оптическими системами, обладающими высокой пространственной селективностью: НР с двумя выпуклыми зеркалами и телескопическими НР. Телескопический резонатор был впервые применен и исследован в ЛПМ в работах
    Exact
    [11-15]
    Suffix
    , в которых было показано, что при больших увеличениях резонатора (сотни крат) формируются пучки с дифракционной расходимостью. Но авторами этих работ не была раскрыта полностью динамика формирования и структура выходного пучка излучения, что оказалось самым важным для практических применений.
    (check this in PDF content)

  3. Start
    8911
    Prefix
    Но авторами этих работ не была раскрыта полностью динамика формирования и структура выходного пучка излучения, что оказалось самым важным для практических применений. Несколько позже, но уже другой известной группой исследователей и разработчиков
    Exact
    [5, 16-20]
    Suffix
    было установлено, что выходное излучение ЛПМ телескопический НР имеет многопучковую структуру, каждый пучок в которой в процессе формирования приобретает свои пространственные, временные и энергетические характеристиками.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    10412
    Prefix
    В качестве активных элементов (АЭ) в ЛПМ применялись самые «мощные» промышленные отпаянные АЭ из серии «Кулон»: модели ГЛ-206Д со средней мощностью излучения 15 Вт и ГЛ-206И мощностью 20 Вт
    Exact
    [5]
    Suffix
    . Рис.1.Экспериментальная установка для исследования характеристик выходного излучения импульсного ЛПМ с оптическими системами с высокой пространственной селективностью: ОС – оптический сотовый стол типа 1НТ10-20-20 с пневмоизоляторами АР-500 и АР-1000, расположенными между столом и четырьмя опорами модели 1ТS065-12-06 (фирмы Standa); 1 – АЭ; 2 – разрядный канал АЭ; З1– выпуклое зеркал
    (check this in PDF content)

  5. Start
    12098
    Prefix
    Внешний вид промышленных отпаянных АЭ «Кулон» Накачка (разогрев и возбуждение) АЭ ЛПМ производилась высоковольтным импульсным ИП с тиратронным модулятором, выполненным по схеме емкостного удвоения напряжения с двумя звеньями магнитного сжатия наносекундных импульсов тока и анодным реактором (рис.3)
    Exact
    [5, 21-22]
    Suffix
    . ИП с данной электрической схемой исполнения модулятора остается на сегодня для ЛПМ самым надежным и эффективным генератором накачки. Рис.3.Принципиальная электрическая схема высоковольтного импульсного модулятора ИП: 1 – высоковольтный выпрямитель–зарядное устройство, 2 – тиратронный коммутатор ТГИ1-1000/25 или ТГИ2-1000/25, 3 – анодный реактор, 4, 7 и 8 – первая, вторая и третья нелинейные
    (check this in PDF content)

  6. Start
    14939
    Prefix
    Выходное зеркало З2 этого резонатора представляет собой просветленную положительную линзу в виде выпукло-вогнутого мениска, на выпуклой поверхности которого нанесено зеркальное пятно диаметром 1...1,5 мм
    Exact
    [23]
    Suffix
    . Фокус линзы зеркала З2 совмещен с фокусом глухого зеркала З1, так что расходящийся пучок НР преобразуется в параллельный (цилиндрический) с минимальной расходимостью и что удобно для практических применений.
    (check this in PDF content)

  7. Start
    19118
    Prefix
    сформированного суммарной геометрической апертурой разрядного канала; α2 – угол распространения резонаторного (качественного) пучка излучения; I и II – распределение интенсивности пучка сверхсветимости и резонаторного пучка излучения в ближней зоне; ОЭ –коллимирующий или фокусирующий оптический элемент или система НР с двумя выпуклыми зеркалами по сравнению с известным телескопическим НР
    Exact
    [16-18]
    Suffix
    и режимом с одним выпуклым зеркалом [19-20] потенциально обладает максимальной пространственной селективностью и, соответственно, возможностью формирования однопучкового излучения с минимальной расходимостью уже за первый проход излучения в резонаторе.
    (check this in PDF content)

  8. Start
    19169
    Prefix
    разрядного канала; α2 – угол распространения резонаторного (качественного) пучка излучения; I и II – распределение интенсивности пучка сверхсветимости и резонаторного пучка излучения в ближней зоне; ОЭ –коллимирующий или фокусирующий оптический элемент или система НР с двумя выпуклыми зеркалами по сравнению с известным телескопическим НР [16-18] и режимом с одним выпуклым зеркалом
    Exact
    [19-20]
    Suffix
    потенциально обладает максимальной пространственной селективностью и, соответственно, возможностью формирования однопучкового излучения с минимальной расходимостью уже за первый проход излучения в резонаторе.
    (check this in PDF content)

  9. Start
    19555
    Prefix
    зеркалом [19-20] потенциально обладает максимальной пространственной селективностью и, соответственно, возможностью формирования однопучкового излучения с минимальной расходимостью уже за первый проход излучения в резонаторе. Тщательный анализ ранее опубликованных работ по динамике формирования в импульсном ЛПМ с оптическими резонаторами многопучковой структуры выходного излучения
    Exact
    [5, 11-15, 16-20]
    Suffix
    и проведенных нами исследований и расчетов с НР, позволили установить, что в НР с двумя выпуклыми зеркалами возможно формирование строго однопучкового излучения дифракционного качества ) непосредственно на фоне некогерентного апертурного пучка сверхсветимости ), но при обязательном выполнении трех взаимосвязанных условий. 1) Глухое зеркало З1 НРдолжно быть установлено от
    (check this in PDF content)

  10. Start
    34773
    Prefix
    Конструктивно проще и удобно для пространственного согласования дифракционного пучка ЗГ с апертурой активной среды УМ использованиев НР в качестве выходного зеркала положительного выпукло-вогнутого мениска (рис.1)
    Exact
    [23]
    Suffix
    .Средняя мощность излучения и соответственно плотность пиковой мощности дифракционного пучка в ЛСПМ с применением в качестве УМ промышленных отпаянных АЭ [5] может быть увеличена на 1-2 порядка: с АЭ серии «Кулон» моделей ГЛ-206Д и ГЛ-206И до 15-25 Вт и 1011 Вт/см2, с АЭ «Кристалл» моделей ГЛ-205А, ГЛ-205Б и ГЛ-205В – до 30-100 Вт и 10 12 Вт/см 2 , что существенно повышает производи
    (check this in PDF content)

  11. Start
    34942
    Prefix
    Конструктивно проще и удобно для пространственного согласования дифракционного пучка ЗГ с апертурой активной среды УМ использованиев НР в качестве выходного зеркала положительного выпукло-вогнутого мениска (рис.1) [23].Средняя мощность излучения и соответственно плотность пиковой мощности дифракционного пучка в ЛСПМ с применением в качестве УМ промышленных отпаянных АЭ
    Exact
    [5]
    Suffix
    может быть увеличена на 1-2 порядка: с АЭ серии «Кулон» моделей ГЛ-206Д и ГЛ-206И до 15-25 Вт и 1011 Вт/см2, с АЭ «Кристалл» моделей ГЛ-205А, ГЛ-205Б и ГЛ-205В – до 30-100 Вт и 10 12 Вт/см 2 , что существенно повышает производительность микрообработки и толщину обрабатываемого материала до 1...2 мм.
    (check this in PDF content)

  12. Start
    35601
    Prefix
    ЛСПМ типа ЗГ – ПФК – УМ с применением в ней в качестве ЗГ импульсного ЛПМ с АЭ «Кулон» ГЛ-206Д и НР с двумя выпуклыми зеркалами, в качестве УМ активного элемента ГЛ-206Д или ГЛ-206И явились основой для создания современных автоматизированных лазерных технологических установок (АЛТУ) типа «Каравелла-1» и «Каравелла1М» для изготовления прецизионных деталей ИЭТ
    Exact
    [5, 24-26]
    Suffix
    .На АЛТУ «Каравелла1»мощностью излучения 10-15 Вт производительно обрабатываютсяметаллические материалы толщиной до 0,5 мм и неметаллическиедо 1...1,2 мм, на «Каравелла-1М» – до 1 мм и до 1,5...1,8 мм соответственно. 4.
    (check this in PDF content)

  13. Start
    36618
    Prefix
    Глухое вогнутое сферическое зеркало З1 имело радиус кривизны поверхности R1= 2200 мм, выходное выпуклое сферическое зеркало – R2 = 10 мм, так что длина резонатора (L) составляла практически 1000 мм. Динамика формирования и структура выходного излучения ЛПМ сданным НР была раскрыта и подробно исследована в работах
    Exact
    [5, 17- 18]
    Suffix
    и было установлено, что при увеличениях сотни крат (М=100-300) формируются пучки с дифракционной и близкой к ней расходимостью. При М=100-300 структура выходного излучения четырехпучковая (рис.9) – два пучка сверхсветимости: пучок 1, сформированный суммарной геометрической апертурой разрядного канала АЭ, и пучок 2, сформированный глухим зеркалом З1 и выходной апертурой разрядного АЭ, и два резона
    (check this in PDF content)

  14. Start
    38041
    Prefix
    Первый резонаторный пучок 3 отстает от пучка сверхсветимости 2 на время 2L/с, на это же время отстают друг от друга и резонаторные пучки. Расходимость резонаторных пучков с телескопическим НР рассчитывается по формуле (8) хорошо согласующейся с экспериментальными данными
    Exact
    [5]
    Suffix
    . Она выведена на основе законов геометрической оптики, с учетом дифракционного предела расходимости. Расчетное значение расходимости для первого резонаторного пучка (n= 1) равно θ = 0,16 мрад, что 1,6 раза больше дифракционного предела – θдифр. = 0,1 мрад.
    (check this in PDF content)

  15. Start
    42501
    Prefix
    Эта оптическая система внедрена в разработанные АЛТУ «Каравелла-2» и «Каравелла-2М» на базе импульсного ЛПМ с отпаянным АЭ ГЛ-206И для изготовления прецизионных деталей приборов СВЧ-техники и других ИЭТ
    Exact
    [5, 24-26]
    Suffix
    . 5. Примеры изготовления прецизионных деталей для ИЭТ на промышленных АЛТУ «Каравелла» Промышленные АЛТУ «Каравелла» созданы на базе импульсных ЛСПМ (см. раздел 3), работающей по эффективной схеме ЗГ– ПФК – УМ, и ЛПМ (см. раздел 4), работающего по схеме ЗГ – ПФК, с однопучковым излучением дифракционного качества, современных прецизионных координатных столов XY и Z c точностью позиционирования
    (check this in PDF content)

  16. Start
    44256
    Prefix
    С максимальной производительностью (5-15 мм/с) вырезаются диски, окна и ЧИПы из искусственного поликристаллического алмаза, сапфира и кремния толщиной до 1,5...1,8 мм и осуществляется формирование объемных изображений в прозрачных средах типа стекло и кварц
    Exact
    [24- 26]
    Suffix
    . По сравнению с традиционными способами обработки, включая и электроэрозионную обработку (ЭЭО), изготовление прецизионных деталей на АЛТУ «Каравелла» сокращается на порядок и более. При этом точность изготовления деталей находится в пределах допусков 4-10 мкм.
    (check this in PDF content)

  17. Start
    45532
    Prefix
    Анализ лазерного реза медных и молибденовых пластин толщиной от 0,05 до 0,5 мм при увеличении микроскопа 500...1000 крат показал, что ЗТВ незначительна и структура материала в зоне отстающей от границы реза более чем 3...5 мкм, заметным изменениям не подвержена
    Exact
    [27]
    Suffix
    . Шероховатость поверхности реза – ≤ 1...2 мкм, микроотверстий – < 1 мкм. λ = 510,6 и,578,2 нм, Ризл = 5,4 Вт, V = 2 мм/с, n = 6 λ = 578,2 нм, Ризл = 1,6 Вт, V = 2 мм/с, n = 12 Рис.14. Изображения фрагментов лазерного реза образцов из меди на обеих длинах волн(слева) и на одной желтой линии (справа); толщина t = 0,1 мм, F = 100 мм, увеличение х500 dотв = 3,18 мкм Увеличение х300
    (check this in PDF content)