The 7 reference contexts in paper D. Duhopel'nikov V., D. Kirillov V., E. Vorob'ev V., S. Ivakhnenko G., Д. Духопельников В., Д. Кириллов В., Е. Воробьев В., С. Ивахненко Г. (2016) “Влияние выработки катода дугового испарителя на равномерность толщины покрытия и угловое распределение продуктов эрозии // The influence of cathode excavation of cathodic arc evaporator on thickness uniformity and erosion products angle distribution” / spz:neicon:technomag:y:2014:i:4:p:1-9

  1. Start
    615
    Prefix
    Баумана Введение Вакуумный дуговой разряд используется для нанесения износостойких, упрочняющих, жаропрочных и других функциональных покрытий. Основными преимуществами метода являются высокая скорость нанесения покрытия, возможность гибкого управления потоками плазмы, низкая энергоёмкость метода
    Exact
    [1]
    Suffix
    . В торцевых дуговых испарителях на расстояниях больше диаметра катода испаряемый материал распределяется в пространстве по косинусоидальному закону Ламберта-Кнудсена [2,3]. При низком давлении и на больших расстояниях от катода торцевой дуговой испаритель можно считать плоским точечным источником.
    (check this in PDF content)

  2. Start
    791
    Prefix
    Основными преимуществами метода являются высокая скорость нанесения покрытия, возможность гибкого управления потоками плазмы, низкая энергоёмкость метода [1]. В торцевых дуговых испарителях на расстояниях больше диаметра катода испаряемый материал распределяется в пространстве по косинусоидальному закону Ламберта-Кнудсена
    Exact
    [2,3]
    Suffix
    . При низком давлении и на больших расстояниях от катода торцевой дуговой испаритель можно считать плоским точечным источником. Часто возникает необходимость нанесения покрытия толщиной 30 мкм и более.
    (check this in PDF content)

  3. Start
    1013
    Prefix
    При низком давлении и на больших расстояниях от катода торцевой дуговой испаритель можно считать плоским точечным источником. Часто возникает необходимость нанесения покрытия толщиной 30 мкм и более. В работе
    Exact
    [4]
    Suffix
    описано использование подобных покрытий для повышения служебных характеристик лопаток компрессора газотурбинного двигателя. При этом важно обеспечить заданную равномерность толщины покрытия по длине обрабатываемой детали.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    2008
    Prefix
    НАУКА и ОБРАЗОВАНИЕ Эл No ФС77 - 4 . Государственная регистрация No042 00025. 821112ISSN 1994-0408 э л е к т р о н н ы й н а у ч н о - т е х н и ч е с к и й ж у р н а л НАУЧНОЕ ИЗДАНИЕ МГТУ ИМ. Н. Э. БАУМАНА В работе
    Exact
    [5]
    Suffix
    было проведено исследование равномерности толщины осаждаемого покрытия на протяжённой подложке при различных расстояниях от катода дугового испарителя с титановым катодом. Показано, что равномерность покрытия и скорость осаждения существенно зависят от расстояния от поверхности катода.
    (check this in PDF content)

  5. Start
    2595
    Prefix
    При этом в публикациях нет данных о том, как влияет на равномерность толщины покрытия изменение геометрии катода вследствие его эрозии в течение длительного времени. При этом известно, что выработка катода может быть существенной, со значительным искажением геометрии катода
    Exact
    [6]
    Suffix
    . Целью данной работы является проведение исследования влияния процесса выработки алюминиевого катода торцевого вакуумного дугового испарителя на угловое распределение испаренного вещества при длительной работе. 1.
    (check this in PDF content)

  6. Start
    4020
    Prefix
    Покрытие осаждалось на протяжённую подложку, выполненную из флоат-стекла М1 длиной 650 мм, стоящую перпендикулярно оси испарителя на расстоянии 140 мм от поверхности его катода (рис. 1). Толщина покрытия измерялась методом ступеньки
    Exact
    [7]
    Suffix
    , которая формировалась на подложке с помощью маски. В качестве маски использовались специально выполненные стальные пластинки, закреплённые на поверхности стекла. Толщина покрытия измерялась на всём протяжении подложки с шагом 50 мм.
    (check this in PDF content)

  7. Start
    7639
    Prefix
    2) Из (1) с учетом (2) получаем 230 1( ) ( )cos ( ) dM R d      . (3) Тогда угловое распределение массы испаренного материала в безразмерном виде может быть определено как 3 0 ( )( )( ) 1 (0)cos ( ) dmdMd ddMd        . (4) Угловое распределение потока испаренного из плоского точечного источника вещества подчиняется косинусоидальному закону Ламберта –Кнудсена
    Exact
    [3]
    Suffix
    0 cos( ) () M dMd     , где dM() – масса вещества, испаряемая в телесный угол d в направлении угла ; M0 - общая масса испаренного вещества; d- телесный угол, в который испаряется поток dM().
    (check this in PDF content)