The 11 references in paper D. Duhopel'nikov V., Д. Духопельников В. (2016) “Измерение индукции магнитного поля и моделирование холловского тока в разряде магнетронной распылительной системы // Measurement of Magnetic Field and Hall Current Modeling in Discharge of Magnetron Sputtering System” / spz:neicon:technomag:y:2015:i:0:p:12-20

1
Кузмичёв А.И. Магнетронные распылительные системы. Кн.1. Введение в физику и технику магнетронного распыления. Киев: Аверс, 2008. 244 с.
(check this in PDF content)
2
Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы. В 2 ч. Ч. 1. Устройство, принципы работы, применение: учеб. пособие. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014. 53 с.
(check this in PDF content)
3
Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 c.
(check this in PDF content)
4
Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Воробьёв Е.В., Кириллов Д.В. Трибологические свойства серебряных покрытий, полученных методом магнетронного распыления // Наноинженерия. 2014. No 9 (39). С. 30-32.
(check this in PDF content)
5
Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Ивахненко С.Г., Воробьев Е.В. Экспериментальное подтверждение эффекта азимутального отклонения ионов в двигателях с анодным слоем // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. 2012. No 11. С. 233-238. DOI: 10.7463/1112.0483882
(check this in PDF content)
6
Духопельников Д.В. Магнетронные распылительные системы с электромагнитами: дис. ... канд. техн. наук. М., 2007. 202 с.
(check this in PDF content)
7
Musschoot J., Haemers J. Qualitative model of the magnetron discharge // Vacuum. 2009. Vol. 84, iss. 4. P. 488-493. DOI:10.1016/j.vacuum.2009.10.011
(check this in PDF content)
8
Abolmasov S.N., Bizyukov A.A. On the Magnetic Field Profile in a High-Power Planar Magnetron Discharge // IEEE Transactions on Plasma Science. 2005. Vol. 33, no. 4. P. 4471449. DOI: 10.1109/tps.2005.852358
(check this in PDF content)
9
Schiller S., Heising V., Goedicke K. Electron beam evaporation and high-rate sputtering with plasmatron/magnetron systems - a comparison // Vakuum Technik. 1978. Vol. 21, no.1. P. 51-56.
(check this in PDF content)
10
Borah S.M., Pal A.R., Bailung H., Chutiay J. Effect of ExB electron drift and plasma discharge in dc magnetron sputtering plasma // Chinese Physics B. 2011. Vol. 20, no. 1. P. 014701-1 – 014701-9. DOI: 10.1088/1674-1056/20/1/014701
(check this in PDF content)
11
Rossnagel S.M., Kaufman H.R. Induced drift currents in circular planar magnetrons // Journal of Vacuum Science & Technology A. Vacuum Surfaces and Films. 1987. Vol. 5, no. 1. P. 88-91. DOI: 10.1116/1.574822
(check this in PDF content)