The 11 reference contexts in paper V. Vasin A., E. Ivashov N., S. Stepanchikov V., В. Васин А., Е. Ивашов Н., С. Степанчиков В. (2016) “НАДЕЖНОСТЬ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ В ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ // RELIABILITY OF PIEZOELECTRIC SCANNERS IN PROBE MICROSCOPY” / spz:neicon:sustain:y:2013:i:1:p:92-114

  1. Start
    2457
    Prefix
    Практически во всех СЗМ пьезоэлектрический сканер используется как очень тонкое позиционирующее устройство для того чтобы перемещать зонд относительно образца или образец относительно зонда. Сканер обеспечивает два независимых движения: сканирование вдоль поверхности образца (в плоскости XY) и перемещение в направлении перпендикулярном к поверхности (по оси Z)
    Exact
    [1]
    Suffix
    . Сканер зондового микроскопа перемещает зонд относительно образца по типу растровой картины как показано на рис. 1. Рис. 1. Движение сканера СЗМ в плоскости (X, Y). Точками показаны места сбора информации Сканер движется вдоль первой линии скана и обратно.
    (check this in PDF content)

  2. Start
    3425
    Prefix
    Измеряемые данные при сканировании собираются только в одном направлении, обычно называемом направлением быстрого сканирования, чтобы минимизировать ошибки регистрации, которые возникают из-за гистерезиса сканера. Перпендикулярное направление, в котором сканер перемещается от линии к линии, называется направлением медленного сканирования
    Exact
    [2]
    Suffix
    . Пока сканер движется вдоль линии сканирования, данные изображения оцифровываются через одинаково расположенные интервалы. Данными является высота сканера по направлению Z для режима постоянной силы или режима постоянного тока.
    (check this in PDF content)

  3. Start
    4234
    Prefix
    Некоторые системы имеют 3000 точки данных на линию. Число линий устанавливается обычно равным числу точек на линии. Таким образом, идеальная установка данных соответствует квадратной сетке измерений
    Exact
    [3]
    Suffix
    . При работе сканеров имеют место такие нежелательные эффекты, как гистерезис, старение, крип, которые приводят к искажению получаемого изображения. Пьезоэлектрические сканеры является критическими элементами в сканирующих зондовых микроскопах, которые существенно влияют на качество получаемого изображения.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    4775
    Prefix
    Пьезоэлектрические сканеры является критическими элементами в сканирующих зондовых микроскопах, которые существенно влияют на качество получаемого изображения. Поэтому характеристики сканера должны удовлетворять определенным требованиям. Одним из самых важных требований, предъявляемых к сканеру, является требование ортогональности сканера
    Exact
    [4]
    Suffix
    . Пьезоэлектрический эффект был открыт в 1880 году Джексом и Пьером Кюри. Они заметили, что в некоторых кристаллах при механическом воздействии на них появляется электрическая поляризация, причем степень ее пропорциональна величине воздействия.
    (check this in PDF content)

  5. Start
    5213
    Prefix
    Они заметили, что в некоторых кристаллах при механическом воздействии на них появляется электрическая поляризация, причем степень ее пропорциональна величине воздействия. Позже Кюри открыл инверсионный пьезоэлектрический эффект – деформирование материалов, помещенных в электрическое поле. Эти явления еще называют прямым и обратным пьезоэлектрическим эффектом
    Exact
    [5]
    Suffix
    . Пьезоэлектрический эффект присущ некоторым природным кристаллам, таким как кварц и турмалин, которые в течение многих лет использовались в качестве электромеханических преобразователей. Кристаллическая решетка кристаллов, обладающих пьезоэлектрическим эффектом, не имеет центра симметрии.
    (check this in PDF content)

  6. Start
    8277
    Prefix
    Так, у коэффициента g12 индекс 1 означает, что пластина деформируется вдоль оси Х, а напряженность поля измеряется вдоль оси Y. У коэффициента d36 индекс 3 означает, что электрическое поле приложено вдоль оси Z. Индекс 6 означает, что кристалл претерпевает сдвиг в плоскости XY
    Exact
    [6]
    Suffix
    . Для пьезоэлектрического материала характерно появление поляризационного заряда при его механической деформации и наоборот, если пьезоэлектрический материал внести в электрическое поле, то можно наблюдать изменение его длины.
    (check this in PDF content)

  7. Start
    15657
    Prefix
    В общем случае множества Ф1, Ф2,..., Фn могут пересекаться, что приводит к взаимозависимости событий потери способности нанотехнологического оборудования выполнять различные функции. По виду пересекаемости множеств Ф1, Ф2,..., Фn выделим следующие структуры МФПМ
    Exact
    [7]
    Suffix
    : (∃i)( ∃j )[(i ≠ j ) → Фi ∩ Фj ≠ Ǿ]; (10) (∀i)(∀j )[(i ≠ j ) → Фi ∩ Фj = Ǿ]; (11) (∀i)(∀j )[(i ≠ j ) → Фi ∩ Фj = Ω], (12) где i, j ∈ N, N = {1, 2, 3,..., n}. Структура МФПМ (10) характеризуется независимостью событий потери нанотехнологическим оборудованием способности выполнять различные функции; структура МФПМ (11) соответствует произвольному виду пересекаемости множеств Ф1, Ф2,.
    (check this in PDF content)

  8. Start
    17060
    Prefix
    Рассмотрим ПС, для которых условие работоспособности заключается в возможности выполнения каждой функции fi ∈ F хотя бы в одном МФПМ. Оценку вероятности безотказной работы проведем на основе известного комбинаторновероятностного метода включения-исключения
    Exact
    [8]
    Suffix
    , позволяющего получить как точную, так и приближенную с требуемой погрешностью оценку. Для МФПМ вида (11) вероятность безотказной работы ПС Р оценивается как (13) где ()...ijaPff f∨∨∨ – вероятность того, что в ПС может быть выполнена хотя бы одна функция из множества функций {fi, fj,..., fa} () ()...1 1.... m Pff fij aij apff f∨∨∨ =−− ∨∨∨ Вероятность сохранения ПС способности выполне
    (check this in PDF content)

  9. Start
    19111
    Prefix
    Пусть задано w0 – предельно допустимое среднее время ожидания обслуживания запросов на выполнение функций fi ∈ F, i ∈ N. Каждый пьезомодуль представим простейшей системой массового обслуживания типа M/M/1
    Exact
    [9]
    Suffix
    . Число пьезомодулей m0, при котором запросы обслуживаются за допустимое среднее время, определим как 0 0 1, v m w  =ρ+  где ρ = vλ; λ – суммарная интенсивность запросов на выполнение функций fi ∈ F; v – среднее время их выполнения.
    (check this in PDF content)

  10. Start
    19686
    Prefix
    При этом вероятность работоспособности ПС определяется по формуле (13) с той разницей, что P(fi∨ fj ∨...∨ fa) – вероятность того, что хотя бы одна функция из множества {fi, fj,..., fa} может быть выполнена не менее чем m0 пьезомодулями
    Exact
    [10]
    Suffix
    : () () () 0 ......1..., mmg gR ij amij aij a gm Pff f Cpff fpff f − = ∨ ∨∨ = ∨ ∨∨ × − ∨ ∨∨ ∑  где вероятность p(fi∨ fj ∨...∨ fa) вычисляемая по формуле (14). Определение значения m0 при направлении всего потока запросов m0 МФПМ приводит к нижней (пессимистической) оценке вероятности работоспособности ПС.
    (check this in PDF content)

  11. Start
    23296
    Prefix
    Приближенная оценка по методу включения-исключения осуществляется на основе формулы (13) с учётом того, что при ограничении точности вычислений до члена со знаком плюс получаем верхнюю оценку, а со знаком минус – нижнюю
    Exact
    [10]
    Suffix
    . Последовательное и параллельное расположение пьезомодулей. Надёжность систем из МФПМ зависит от системы автоматического управления этими пьезомодулями, а также надёжности работы самих пьезомодулей, в которых реализуется преобразование электрической энергии в механическую.
    (check this in PDF content)