The single linked reference in paper I. Klimovich M., V. Kuleshov N., V. Zaikou A., A. Burmakou P., F. Komarov F., O. Ludchik R., И. Климович М., В. Кулешов Н., В. Зайков А., А. Бурмаков П., Ф. Комаров Ф., О. Людчик Р. (2015) “СИСТЕМА КОНТРОЛЯ РАСХОДА ГАЗОВ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ // GAS FLOW CONTROL SYSTEM IN REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING TECHNOLOGY” / spz:neicon:pimi:y:2015:i:2:p:139-147

  1. Комаров, Ф.Ф. Контролируемое нанесение Ti-Al-N покрытий методом реактивного магнетронного распыления / Ф.Ф. Комаров [и др.] // Доклады НАН Беларуси. – 2014. – Т. 58, No 5. – С. 40–43. Gas flow control system in reactive magnetron sputtering