The 17 references with contexts in paper A. Petrov V., S. Demyanov E., E. Kaniukov Yu., D. Fink , А. Петров В., С. Демьянов Е., Е. Канюков Ю., Д. Финк (2015) “ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ МИКРОИНДУКТОР НА ОСНОВЕ ГИБКОЙ ПОЛИИМИДНОЙ ПЛЕНКИ // HIGH-FREQUENCY MICROINDUCTOR ON THE BASE OF FLEXIBLE POLYIMIDE FILM” / spz:neicon:pimi:y:2011:i:2:p:27-32

1
Yamasawa, K. High frequency operation of a planar-type microtransformer and its application to multilayered switching regulators / K. Yamasawa [et al.] // IEEE Trans. Magn. – 1990. – V. MAG-26. – P. 1204–1209.
Total in-text references: 2
  1. In-text reference with the coordinate start=1239
    Prefix
    Введение В последние годы активно проводятся работы по созданию микроэлектротехнических устройств, что связано с развитием таких технологий, как ионно-лучевое напыление, гальванопластика и фотолитография
    Exact
    [1–4]
    Suffix
    . При этом микроприборы, как правило, формируются послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров.

  2. In-text reference with the coordinate start=1688
    Prefix
    послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров. Они применяются в биологических и медицинских приборах, компьютерных технологиях [4–6], при создании научно-исследовательского оборудования
    Exact
    [1–3]
    Suffix
    , а также в системах связи, аэрокосмических и военных разработках [4]. Недостатком таких приборов является жесткость, что осложняет их использование на сложнопрофильных и подвижных поверхностях.

2
Yamaguchi, H. Loss characteristics of air-core superconducting transformer / H. Yamaguchi, Y. Sato, T. Kataoka // IEEE Transact. on Magn. – 1992. – V. 28. – P. 2232–2234.
Total in-text references: 4
  1. In-text reference with the coordinate start=1239
    Prefix
    Введение В последние годы активно проводятся работы по созданию микроэлектротехнических устройств, что связано с развитием таких технологий, как ионно-лучевое напыление, гальванопластика и фотолитография
    Exact
    [1–4]
    Suffix
    . При этом микроприборы, как правило, формируются послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров.

  2. In-text reference with the coordinate start=1688
    Prefix
    послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров. Они применяются в биологических и медицинских приборах, компьютерных технологиях [4–6], при создании научно-исследовательского оборудования
    Exact
    [1–3]
    Suffix
    , а также в системах связи, аэрокосмических и военных разработках [4]. Недостатком таких приборов является жесткость, что осложняет их использование на сложнопрофильных и подвижных поверхностях.

  3. In-text reference with the coordinate start=3564
    Prefix
    Так, катушки микроиндукторов для низкочастотных применений, как правило, содержат ферромагнитный сердечник, а для более высоких частот используются сердечники из ферритов [3]. При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности
    Exact
    [2–5]
    Suffix
    . Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах [5, 15–16], большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной обмотки, которая изначально формируется на жесткой подложке кремния.

  4. In-text reference with the coordinate start=5283
    Prefix
    Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора. Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями
    Exact
    [2–5, 15– 16]
    Suffix
    заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов [9–14]. Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией.

3
Ahn, C.H. A Fully integrated planar toroidal inductor with a Micromachined Ni-Fe Magnetic Bar / C.H. Ahn, Y.J. Kim, M.G. Allen // IEEE Transact. on Components, Packaging and Manufactoring Technology. – 1994. – V. A17. – P. 463–469.
Total in-text references: 5
  1. In-text reference with the coordinate start=1239
    Prefix
    Введение В последние годы активно проводятся работы по созданию микроэлектротехнических устройств, что связано с развитием таких технологий, как ионно-лучевое напыление, гальванопластика и фотолитография
    Exact
    [1–4]
    Suffix
    . При этом микроприборы, как правило, формируются послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров.

  2. In-text reference with the coordinate start=1688
    Prefix
    послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров. Они применяются в биологических и медицинских приборах, компьютерных технологиях [4–6], при создании научно-исследовательского оборудования
    Exact
    [1–3]
    Suffix
    , а также в системах связи, аэрокосмических и военных разработках [4]. Недостатком таких приборов является жесткость, что осложняет их использование на сложнопрофильных и подвижных поверхностях.

  3. In-text reference with the coordinate start=3459
    Prefix
    Принцип построения микроиндуктора зависит от диапазона частот, в котором его планируется использовать. Так, катушки микроиндукторов для низкочастотных применений, как правило, содержат ферромагнитный сердечник, а для более высоких частот используются сердечники из ферритов
    Exact
    [3]
    Suffix
    . При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности [2–5]. Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах [5, 15–16], большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной

  4. In-text reference with the coordinate start=3564
    Prefix
    Так, катушки микроиндукторов для низкочастотных применений, как правило, содержат ферромагнитный сердечник, а для более высоких частот используются сердечники из ферритов [3]. При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности
    Exact
    [2–5]
    Suffix
    . Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах [5, 15–16], большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной обмотки, которая изначально формируется на жесткой подложке кремния.

  5. In-text reference with the coordinate start=5283
    Prefix
    Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора. Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями
    Exact
    [2–5, 15– 16]
    Suffix
    заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов [9–14]. Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией.

4
Park, J.Y. High current integrated microinductors and microtransformers using low temperature fabrication processes / J.Y. Park, M.G. Allen // Microelectronics International. – 1997. – V. 14. – P. 8–11
Total in-text references: 5
  1. In-text reference with the coordinate start=1239
    Prefix
    Введение В последние годы активно проводятся работы по созданию микроэлектротехнических устройств, что связано с развитием таких технологий, как ионно-лучевое напыление, гальванопластика и фотолитография
    Exact
    [1–4]
    Suffix
    . При этом микроприборы, как правило, формируются послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров.

  2. In-text reference with the coordinate start=1625
    Prefix
    При этом микроприборы, как правило, формируются послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров. Они применяются в биологических и медицинских приборах, компьютерных технологиях
    Exact
    [4–6]
    Suffix
    , при создании научно-исследовательского оборудования [1–3], а также в системах связи, аэрокосмических и военных разработках [4]. Недостатком таких приборов является жесткость, что осложняет их использование на сложнопрофильных и подвижных поверхностях.

  3. In-text reference with the coordinate start=1760
    Prefix
    Они применяются в биологических и медицинских приборах, компьютерных технологиях [4–6], при создании научно-исследовательского оборудования [1–3], а также в системах связи, аэрокосмических и военных разработках
    Exact
    [4]
    Suffix
    . Недостатком таких приборов является жесткость, что осложняет их использование на сложнопрофильных и подвижных поверхностях. Конструирование элементов электрических цепей на гибкой подложке позволяет решить эту проблему и одновременно уменьшить массогабаритные показатели.

  4. In-text reference with the coordinate start=3564
    Prefix
    Так, катушки микроиндукторов для низкочастотных применений, как правило, содержат ферромагнитный сердечник, а для более высоких частот используются сердечники из ферритов [3]. При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности
    Exact
    [2–5]
    Suffix
    . Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах [5, 15–16], большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной обмотки, которая изначально формируется на жесткой подложке кремния.

  5. In-text reference with the coordinate start=5283
    Prefix
    Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора. Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями
    Exact
    [2–5, 15– 16]
    Suffix
    заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов [9–14]. Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией.

5
Basteres, L. Inductor for integrated circuit / L. Basteres [et al.] // US Patent No. 6,456,183 – B1. – 24.09.2002.
Total in-text references: 4
  1. In-text reference with the coordinate start=1625
    Prefix
    При этом микроприборы, как правило, формируются послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров. Они применяются в биологических и медицинских приборах, компьютерных технологиях
    Exact
    [4–6]
    Suffix
    , при создании научно-исследовательского оборудования [1–3], а также в системах связи, аэрокосмических и военных разработках [4]. Недостатком таких приборов является жесткость, что осложняет их использование на сложнопрофильных и подвижных поверхностях.

  2. In-text reference with the coordinate start=3564
    Prefix
    Так, катушки микроиндукторов для низкочастотных применений, как правило, содержат ферромагнитный сердечник, а для более высоких частот используются сердечники из ферритов [3]. При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности
    Exact
    [2–5]
    Suffix
    . Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах [5, 15–16], большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной обмотки, которая изначально формируется на жесткой подложке кремния.

  3. In-text reference with the coordinate start=3770
    Prefix
    При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности [2–5]. Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах
    Exact
    [5, 15–16]
    Suffix
    , большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной обмотки, которая изначально формируется на жесткой подложке кремния. Методом центрифугирования на кремнии создается слой полиимида, на котором с помощью электрохимического осаждения через специальные маски формируются 2 слоя обмоток из медных проводников.

  4. In-text reference with the coordinate start=5283
    Prefix
    Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора. Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями
    Exact
    [2–5, 15– 16]
    Suffix
    заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов [9–14]. Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией.

6
Sekitani, T. Flexible organic transistors and circuits with extreme bending stability / T. Sekitani [et al.] // Nature Materials. – 2010. – V. 9. – P. 1015–1022.
Total in-text references: 2
  1. In-text reference with the coordinate start=1625
    Prefix
    При этом микроприборы, как правило, формируются послойно на твердой подложке (преимущественно кремниевой) с использованием прослоек из изолирующего материала, что позволяет получать планарные устройства площадью в несколько квадратных миллиметров и толщиной несколько сотен микрометров. Они применяются в биологических и медицинских приборах, компьютерных технологиях
    Exact
    [4–6]
    Suffix
    , при создании научно-исследовательского оборудования [1–3], а также в системах связи, аэрокосмических и военных разработках [4]. Недостатком таких приборов является жесткость, что осложняет их использование на сложнопрофильных и подвижных поверхностях.

  2. In-text reference with the coordinate start=2179
    Prefix
    Конструирование элементов электрических цепей на гибкой подложке позволяет решить эту проблему и одновременно уменьшить массогабаритные показатели. В связи с этим задача создания «гибкой электроники» является одной из наиболее актуальных для современного материаловедения
    Exact
    [6–8]
    Suffix
    . Среди развиваемых в настоящее время способов получения подобных элементов особое место занимает так называемая ядерная технология, основанная на облучении материалов высокоэнергетичными тяжелыми ионами с образованием сильно разупорядоченных зон диаметром несколько нанометров [9–10].

7
Zschieschang, U. Flexible low-voltage organic transistors and circuits based on a high-mobility organic semiconductor with good air stability / U. Zschieschang [et al.] // Advanced Materials. – 2010. – V. 22. – P. 982–985.
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2179
    Prefix
    Конструирование элементов электрических цепей на гибкой подложке позволяет решить эту проблему и одновременно уменьшить массогабаритные показатели. В связи с этим задача создания «гибкой электроники» является одной из наиболее актуальных для современного материаловедения
    Exact
    [6–8]
    Suffix
    . Среди развиваемых в настоящее время способов получения подобных элементов особое место занимает так называемая ядерная технология, основанная на облучении материалов высокоэнергетичными тяжелыми ионами с образованием сильно разупорядоченных зон диаметром несколько нанометров [9–10].

8
Nakano, Sh. Low operation voltage of inkjetprinted plastic sheet-type micromechanical switches / Sh. Nakano, Ts. Sekitani, T. Yokota, T. Someya // Applied Physics Letters. – 2008. – V. 92. – P. 053302–053307. Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 31
Total in-text references: 1
  1. In-text reference with the coordinate start=2179
    Prefix
    Конструирование элементов электрических цепей на гибкой подложке позволяет решить эту проблему и одновременно уменьшить массогабаритные показатели. В связи с этим задача создания «гибкой электроники» является одной из наиболее актуальных для современного материаловедения
    Exact
    [6–8]
    Suffix
    . Среди развиваемых в настоящее время способов получения подобных элементов особое место занимает так называемая ядерная технология, основанная на облучении материалов высокоэнергетичными тяжелыми ионами с образованием сильно разупорядоченных зон диаметром несколько нанометров [9–10].

9
Fundamentals of Ion-Irradiated Polymers. Ed. by D. Fink. Heidelberg. Springer Series in Materials Science. – V. 63. – 2004.
Total in-text references: 2
  1. In-text reference with the coordinate start=2475
    Prefix
    Среди развиваемых в настоящее время способов получения подобных элементов особое место занимает так называемая ядерная технология, основанная на облучении материалов высокоэнергетичными тяжелыми ионами с образованием сильно разупорядоченных зон диаметром несколько нанометров
    Exact
    [9–10]
    Suffix
    . Возможность их селективного вытравливания позволяет сформировать каналы с аспектным отношением (отношение диаметра к ширине) до 10 000 [10]. Заполнение каналов различными веществами дает возможность создания структур сложной геометрии на гибкой диэлектрической подложке [11–14].

  2. In-text reference with the coordinate start=5444
    Prefix
    Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями [2–5, 15– 16] заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов
    Exact
    [9–14]
    Suffix
    . Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией. Поры (протравленные ионные треки) различных форм и размеров формируются в облученном материале за счет химического воздействия специальных травителей, удаляющих области треков с модифицированными свойствами.

10
Реутов, В.Ф. Ионно-трековая нанотехнология / В.Ф. Реутов, С.Н. Дмитриев // Российский химический журнал (Журнал Рос. хим. общества им. Д. И. Менделеева). – 2002. – Т. XLVI. – No 5. – С. 74–80.
Total in-text references: 4
  1. In-text reference with the coordinate start=2475
    Prefix
    Среди развиваемых в настоящее время способов получения подобных элементов особое место занимает так называемая ядерная технология, основанная на облучении материалов высокоэнергетичными тяжелыми ионами с образованием сильно разупорядоченных зон диаметром несколько нанометров
    Exact
    [9–10]
    Suffix
    . Возможность их селективного вытравливания позволяет сформировать каналы с аспектным отношением (отношение диаметра к ширине) до 10 000 [10]. Заполнение каналов различными веществами дает возможность создания структур сложной геометрии на гибкой диэлектрической подложке [11–14].

  2. In-text reference with the coordinate start=2622
    Prefix
    способов получения подобных элементов особое место занимает так называемая ядерная технология, основанная на облучении материалов высокоэнергетичными тяжелыми ионами с образованием сильно разупорядоченных зон диаметром несколько нанометров [9–10]. Возможность их селективного вытравливания позволяет сформировать каналы с аспектным отношением (отношение диаметра к ширине) до 10 000
    Exact
    [10]
    Suffix
    . Заполнение каналов различными веществами дает возможность создания структур сложной геометрии на гибкой диэлектрической подложке [11–14]. При создании гибких микроиндукторов необходимо учитывать, что подложка должна обладать достаточной термической стабильностью для эффективного рассеивания джоулева тепла, генерирующегося в результате прохождения тока через обмотку индуктора.

  3. In-text reference with the coordinate start=5444
    Prefix
    Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями [2–5, 15– 16] заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов
    Exact
    [9–14]
    Suffix
    . Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией. Поры (протравленные ионные треки) различных форм и размеров формируются в облученном материале за счет химического воздействия специальных травителей, удаляющих области треков с модифицированными свойствами.

  4. In-text reference with the coordinate start=11118
    Prefix
    Важными преимуществами использования данных систем являются их легкость, возможность крепления на сложнопрофильных поверхностях и высокая термическая стабильность [12–16]. Также следует отметить, что в настоящее время освоены технологии, позволяющие получать пористую пленку полиимида со сравнительно небольшими финансовыми затратами
    Exact
    [10]
    Suffix
    , т. е. стоимость создаваемых микроиндукторов и микротрансформаторов не будет превышать стоимости существующих аналогов на жесткой подложке. Заключение Предложен более простой по сравнению с существующими технологиями способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора на основе гибкой полиимидной пленки с микропорами, полученными при помощи ионно-трековой технологи

11
Fink, D. Production parameters for the formation of metallic nanotubules in etched tracks / D. Fink [et al.] // Radiation Measurements. – 2003. – V. 36. – P. 751–755.
Total in-text references: 3
  1. In-text reference with the coordinate start=2761
    Prefix
    Возможность их селективного вытравливания позволяет сформировать каналы с аспектным отношением (отношение диаметра к ширине) до 10 000 [10]. Заполнение каналов различными веществами дает возможность создания структур сложной геометрии на гибкой диэлектрической подложке
    Exact
    [11–14]
    Suffix
    . При создании гибких микроиндукторов необходимо учитывать, что подложка должна обладать достаточной термической стабильностью для эффективного рассеивания джоулева тепла, генерирующегося в результате прохождения тока через обмотку индуктора.

  2. In-text reference with the coordinate start=3169
    Prefix
    гибких микроиндукторов необходимо учитывать, что подложка должна обладать достаточной термической стабильностью для эффективного рассеивания джоулева тепла, генерирующегося в результате прохождения тока через обмотку индуктора. Наиболее подходящим материалом является полиимид, так как он выдерживает температуры до 400– 500 C без каких-либо химических и структурных изменений
    Exact
    [11–12]
    Suffix
    . Принцип построения микроиндуктора зависит от диапазона частот, в котором его планируется использовать. Так, катушки микроиндукторов для низкочастотных применений, как правило, содержат ферромагнитный сердечник, а для более высоких частот используются сердечники из ферритов [3].

  3. In-text reference with the coordinate start=5444
    Prefix
    Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями [2–5, 15– 16] заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов
    Exact
    [9–14]
    Suffix
    . Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией. Поры (протравленные ионные треки) различных форм и размеров формируются в облученном материале за счет химического воздействия специальных травителей, удаляющих области треков с модифицированными свойствами.

12
Lindeberg, M. Interconnected nanowire clusters in polyimide for flexible circuits and magnetic sensing applications / M. Lindeberg, K. Hjort // Sensors and Actuators. – 2003. – V. A105. – P. 150–161.
Total in-text references: 5
  1. In-text reference with the coordinate start=2761
    Prefix
    Возможность их селективного вытравливания позволяет сформировать каналы с аспектным отношением (отношение диаметра к ширине) до 10 000 [10]. Заполнение каналов различными веществами дает возможность создания структур сложной геометрии на гибкой диэлектрической подложке
    Exact
    [11–14]
    Suffix
    . При создании гибких микроиндукторов необходимо учитывать, что подложка должна обладать достаточной термической стабильностью для эффективного рассеивания джоулева тепла, генерирующегося в результате прохождения тока через обмотку индуктора.

  2. In-text reference with the coordinate start=3169
    Prefix
    гибких микроиндукторов необходимо учитывать, что подложка должна обладать достаточной термической стабильностью для эффективного рассеивания джоулева тепла, генерирующегося в результате прохождения тока через обмотку индуктора. Наиболее подходящим материалом является полиимид, так как он выдерживает температуры до 400– 500 C без каких-либо химических и структурных изменений
    Exact
    [11–12]
    Suffix
    . Принцип построения микроиндуктора зависит от диапазона частот, в котором его планируется использовать. Так, катушки микроиндукторов для низкочастотных применений, как правило, содержат ферромагнитный сердечник, а для более высоких частот используются сердечники из ферритов [3].

  3. In-text reference with the coordinate start=5444
    Prefix
    Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями [2–5, 15– 16] заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов
    Exact
    [9–14]
    Suffix
    . Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией. Поры (протравленные ионные треки) различных форм и размеров формируются в облученном материале за счет химического воздействия специальных травителей, удаляющих области треков с модифицированными свойствами.

  4. In-text reference with the coordinate start=8985
    Prefix
    Можно сделать вывод о том, что данная частотная зависимость связана с влиянием резистивных и емкостных потерь в системе, а также с влиянием магнитных полей рассеяния, появляющихся в микроиндукторе с увеличением частоты
    Exact
    [12, 13]
    Suffix
    . Наблюдавшееся экспериментальное значение индуктивности (L) микроиндуктора согласуется с теоретической оценкой [17]: rc NA L 2р м2, (1) где – магнитная восприимчивость, которую в данном случае полагаем равной 1 Н/м; N – количество витков в обмотке, равное 7; А – поперечное сечение катушки, равное примерно 8 10-9 м2; rc – радиус катушки, равный примерно 2 10-4 м.

  5. In-text reference with the coordinate start=10940
    Prefix
    на основе нанопористой полиимидной пленки могут эффективно применяться в компьютерных системах, в системах связи (в осцилляторах для телекоммуникационных систем), в аэрокосмических и военных проектах. Важными преимуществами использования данных систем являются их легкость, возможность крепления на сложнопрофильных поверхностях и высокая термическая стабильность
    Exact
    [12–16]
    Suffix
    . Также следует отметить, что в настоящее время освоены технологии, позволяющие получать пористую пленку полиимида со сравнительно небольшими финансовыми затратами [10], т. е. стоимость создаваемых микроиндукторов и микротрансформаторов не будет превышать стоимости существующих аналогов на жесткой подложке.

13
Lindeberg, M. A comprehensive study of ion track enabled high aspect ratio microstructures in flexible circuit boards applications / M. Lindeberg, K. Hjort // Microsystem Technologies. – 2004. – V. 10. – P. 605–621.
Total in-text references: 4
  1. In-text reference with the coordinate start=2761
    Prefix
    Возможность их селективного вытравливания позволяет сформировать каналы с аспектным отношением (отношение диаметра к ширине) до 10 000 [10]. Заполнение каналов различными веществами дает возможность создания структур сложной геометрии на гибкой диэлектрической подложке
    Exact
    [11–14]
    Suffix
    . При создании гибких микроиндукторов необходимо учитывать, что подложка должна обладать достаточной термической стабильностью для эффективного рассеивания джоулева тепла, генерирующегося в результате прохождения тока через обмотку индуктора.

  2. In-text reference with the coordinate start=5444
    Prefix
    Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями [2–5, 15– 16] заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов
    Exact
    [9–14]
    Suffix
    . Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией. Поры (протравленные ионные треки) различных форм и размеров формируются в облученном материале за счет химического воздействия специальных травителей, удаляющих области треков с модифицированными свойствами.

  3. In-text reference with the coordinate start=8985
    Prefix
    Можно сделать вывод о том, что данная частотная зависимость связана с влиянием резистивных и емкостных потерь в системе, а также с влиянием магнитных полей рассеяния, появляющихся в микроиндукторе с увеличением частоты
    Exact
    [12, 13]
    Suffix
    . Наблюдавшееся экспериментальное значение индуктивности (L) микроиндуктора согласуется с теоретической оценкой [17]: rc NA L 2р м2, (1) где – магнитная восприимчивость, которую в данном случае полагаем равной 1 Н/м; N – количество витков в обмотке, равное 7; А – поперечное сечение катушки, равное примерно 8 10-9 м2; rc – радиус катушки, равный примерно 2 10-4 м.

  4. In-text reference with the coordinate start=10940
    Prefix
    на основе нанопористой полиимидной пленки могут эффективно применяться в компьютерных системах, в системах связи (в осцилляторах для телекоммуникационных систем), в аэрокосмических и военных проектах. Важными преимуществами использования данных систем являются их легкость, возможность крепления на сложнопрофильных поверхностях и высокая термическая стабильность
    Exact
    [12–16]
    Suffix
    . Также следует отметить, что в настоящее время освоены технологии, позволяющие получать пористую пленку полиимида со сравнительно небольшими финансовыми затратами [10], т. е. стоимость создаваемых микроиндукторов и микротрансформаторов не будет превышать стоимости существующих аналогов на жесткой подложке.

14
Toulemonde, M. Track formation and fabrication of nanostructures with MeV – ion beams / M. Toulemonde [et al.] // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. – 2004. – V. 36. – P. 1–8.
Total in-text references: 3
  1. In-text reference with the coordinate start=2761
    Prefix
    Возможность их селективного вытравливания позволяет сформировать каналы с аспектным отношением (отношение диаметра к ширине) до 10 000 [10]. Заполнение каналов различными веществами дает возможность создания структур сложной геометрии на гибкой диэлектрической подложке
    Exact
    [11–14]
    Suffix
    . При создании гибких микроиндукторов необходимо учитывать, что подложка должна обладать достаточной термической стабильностью для эффективного рассеивания джоулева тепла, генерирующегося в результате прохождения тока через обмотку индуктора.

  2. In-text reference with the coordinate start=5444
    Prefix
    Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями [2–5, 15– 16] заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов
    Exact
    [9–14]
    Suffix
    . Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией. Поры (протравленные ионные треки) различных форм и размеров формируются в облученном материале за счет химического воздействия специальных травителей, удаляющих области треков с модифицированными свойствами.

  3. In-text reference with the coordinate start=10940
    Prefix
    на основе нанопористой полиимидной пленки могут эффективно применяться в компьютерных системах, в системах связи (в осцилляторах для телекоммуникационных систем), в аэрокосмических и военных проектах. Важными преимуществами использования данных систем являются их легкость, возможность крепления на сложнопрофильных поверхностях и высокая термическая стабильность
    Exact
    [12–16]
    Suffix
    . Также следует отметить, что в настоящее время освоены технологии, позволяющие получать пористую пленку полиимида со сравнительно небольшими финансовыми затратами [10], т. е. стоимость создаваемых микроиндукторов и микротрансформаторов не будет превышать стоимости существующих аналогов на жесткой подложке.

15
Saidani, M. Three-dimensional miniaturized power inductors realized in a batch-type hybrid technology / M. Saidani, M.A.M. Gijs // J. Micromech. Microeng. – 2002. – V. 12. – P. 470– 474.
Total in-text references: 3
  1. In-text reference with the coordinate start=3770
    Prefix
    При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности [2–5]. Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах
    Exact
    [5, 15–16]
    Suffix
    , большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной обмотки, которая изначально формируется на жесткой подложке кремния. Методом центрифугирования на кремнии создается слой полиимида, на котором с помощью электрохимического осаждения через специальные маски формируются 2 слоя обмоток из медных проводников.

  2. In-text reference with the coordinate start=5283
    Prefix
    Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора. Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями
    Exact
    [2–5, 15– 16]
    Suffix
    заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов [9–14]. Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией.

  3. In-text reference with the coordinate start=10940
    Prefix
    на основе нанопористой полиимидной пленки могут эффективно применяться в компьютерных системах, в системах связи (в осцилляторах для телекоммуникационных систем), в аэрокосмических и военных проектах. Важными преимуществами использования данных систем являются их легкость, возможность крепления на сложнопрофильных поверхностях и высокая термическая стабильность
    Exact
    [12–16]
    Suffix
    . Также следует отметить, что в настоящее время освоены технологии, позволяющие получать пористую пленку полиимида со сравнительно небольшими финансовыми затратами [10], т. е. стоимость создаваемых микроиндукторов и микротрансформаторов не будет превышать стоимости существующих аналогов на жесткой подложке.

16
Saidani, M. Cubic millimeter power inductor fabricated in batch-type wafer technology / M. Saidani, M.A.M. Gijs // Journal of Microelectromechanical Systems. – 2003. – V. 12. – No. 2. – P. 172–178.
Total in-text references: 4
  1. In-text reference with the coordinate start=3770
    Prefix
    При частотах выше ~108 Гц микроиндукторы строятся без сердечников из-за их высокой инерционности [2–5]. Приборы и методы измерений, No 2 (3), 2011 27 Технология создания прототипа микроиндуктора на основе пористой полиимидной пленки Согласно технологиям, описанным в работах
    Exact
    [5, 15–16]
    Suffix
    , большинство современных высокочастотных микроиндукторов проектируются в виде двухслойной обмотки, которая изначально формируется на жесткой подложке кремния. Методом центрифугирования на кремнии создается слой полиимида, на котором с помощью электрохимического осаждения через специальные маски формируются 2 слоя обмоток из медных проводников.

  2. In-text reference with the coordinate start=4898
    Prefix
    После завершения формирования структуры микроиндуктора кремниевая подложка стравливается, что в конечном итоге обеспечивает гибкость изделия. Величина индуктивности такого индуктора составляет 10-7 Гн, а его добротность – 10 при частоте 100 МГц
    Exact
    [16–17]
    Suffix
    . Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора.

  3. In-text reference with the coordinate start=5283
    Prefix
    Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора. Более простой способ создания обмотки высокочастотного микроиндуктора по сравнению с существующими технологиями
    Exact
    [2–5, 15– 16]
    Suffix
    заключается в использовании пористой полиимидной пленки, в которой поры сформированы с использованием технологии треков быстрых тяжелых ионов [9–14]. Эта технология связана с формированием узких и протяженных областей радиационного повреждения, в результате воздействия на вещество ионов с вы сокой энергией.

  4. In-text reference with the coordinate start=10940
    Prefix
    на основе нанопористой полиимидной пленки могут эффективно применяться в компьютерных системах, в системах связи (в осцилляторах для телекоммуникационных систем), в аэрокосмических и военных проектах. Важными преимуществами использования данных систем являются их легкость, возможность крепления на сложнопрофильных поверхностях и высокая термическая стабильность
    Exact
    [12–16]
    Suffix
    . Также следует отметить, что в настоящее время освоены технологии, позволяющие получать пористую пленку полиимида со сравнительно небольшими финансовыми затратами [10], т. е. стоимость создаваемых микроиндукторов и микротрансформаторов не будет превышать стоимости существующих аналогов на жесткой подложке.

17
Доброневский, О.В. Справочник по радиоэлектронике / О.В. Доброневский. – К. : Вища школа, 1974. Petrov A.V., Demyanov S.E., Kani
Total in-text references: 2
  1. In-text reference with the coordinate start=4898
    Prefix
    После завершения формирования структуры микроиндуктора кремниевая подложка стравливается, что в конечном итоге обеспечивает гибкость изделия. Величина индуктивности такого индуктора составляет 10-7 Гн, а его добротность – 10 при частоте 100 МГц
    Exact
    [16–17]
    Suffix
    . Описанная технология обладает некоторыми недостатками, например многостадийность изготовления, применение большого количества физико-химических методик и необходимость использования кремниевой подложки на всех стадиях изготовления микроиндуктора.

  2. In-text reference with the coordinate start=9106
    Prefix
    Можно сделать вывод о том, что данная частотная зависимость связана с влиянием резистивных и емкостных потерь в системе, а также с влиянием магнитных полей рассеяния, появляющихся в микроиндукторе с увеличением частоты [12, 13]. Наблюдавшееся экспериментальное значение индуктивности (L) микроиндуктора согласуется с теоретической оценкой
    Exact
    [17]
    Suffix
    : rc NA L 2р м2, (1) где – магнитная восприимчивость, которую в данном случае полагаем равной 1 Н/м; N – количество витков в обмотке, равное 7; А – поперечное сечение катушки, равное примерно 8 10-9 м2; rc – радиус катушки, равный примерно 2 10-4 м.