The 13 reference contexts in paper K. Pantsialeyeu U., U. Mikitsevich A., A. Zharin L., К. Пантелеев В., В. Микитевич А., А. Жарин Л. (2016) “ПОСТРОЕНИЕ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ КОНТАКТНОЙ РАЗНОСТИ ПОТЕНЦИАЛОВ // DESIGN OF THE CONTACT POTENTIALS DIFFERENCE PROBES” / spz:neicon:pimi:y:2016:i:1:p:7-15

  1. Start
    3397
    Prefix
    Ключевые слова: контактная разность потенциалов, зонд Кельвина, измеритель КРП, работа выхода электрона. DOI: 10.21122/2220-9506-2016-7-1-7-15 7 Введение Измерители контактной разности потенциалов (КРП) находят широкое применение как при решении научно-исследовательских задач
    Exact
    [1–3]
    Suffix
    , так и в промышленности при оценке состояния поверхности материалов различной физической природы [4–6], качества очистки их поверхностей [7, 8], защитных и эксплуатационных свойств тонких пленок и покрытий [9, 10] и др. [11], в том числе для изделий микро- и нанотехнологии [12].
    (check this in PDF content)

  2. Start
    3500
    Prefix
    DOI: 10.21122/2220-9506-2016-7-1-7-15 7 Введение Измерители контактной разности потенциалов (КРП) находят широкое применение как при решении научно-исследовательских задач [1–3], так и в промышленности при оценке состояния поверхности материалов различной физической природы
    Exact
    [4–6]
    Suffix
    , качества очистки их поверхностей [7, 8], защитных и эксплуатационных свойств тонких пленок и покрытий [9, 10] и др. [11], в том числе для изделий микро- и нанотехнологии [12]. Методы измерения КРП (метод Кельвина– Зисмана) в случае металлов, сплавов и полупроводников основаны на регистрации разности работ выхода электрона (РВЭ) между измеряемой и эталонной поверхностями.
    (check this in PDF content)

  3. Start
    3540
    Prefix
    DOI: 10.21122/2220-9506-2016-7-1-7-15 7 Введение Измерители контактной разности потенциалов (КРП) находят широкое применение как при решении научно-исследовательских задач [1–3], так и в промышленности при оценке состояния поверхности материалов различной физической природы [4–6], качества очистки их поверхностей
    Exact
    [7, 8]
    Suffix
    , защитных и эксплуатационных свойств тонких пленок и покрытий [9, 10] и др. [11], в том числе для изделий микро- и нанотехнологии [12]. Методы измерения КРП (метод Кельвина– Зисмана) в случае металлов, сплавов и полупроводников основаны на регистрации разности работ выхода электрона (РВЭ) между измеряемой и эталонной поверхностями.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    3614
    Prefix
    DOI: 10.21122/2220-9506-2016-7-1-7-15 7 Введение Измерители контактной разности потенциалов (КРП) находят широкое применение как при решении научно-исследовательских задач [1–3], так и в промышленности при оценке состояния поверхности материалов различной физической природы [4–6], качества очистки их поверхностей [7, 8], защитных и эксплуатационных свойств тонких пленок и покрытий
    Exact
    [9, 10]
    Suffix
    и др. [11], в том числе для изделий микро- и нанотехнологии [12]. Методы измерения КРП (метод Кельвина– Зисмана) в случае металлов, сплавов и полупроводников основаны на регистрации разности работ выхода электрона (РВЭ) между измеряемой и эталонной поверхностями.
    (check this in PDF content)

  5. Start
    3628
    Prefix
    /2220-9506-2016-7-1-7-15 7 Введение Измерители контактной разности потенциалов (КРП) находят широкое применение как при решении научно-исследовательских задач [1–3], так и в промышленности при оценке состояния поверхности материалов различной физической природы [4–6], качества очистки их поверхностей [7, 8], защитных и эксплуатационных свойств тонких пленок и покрытий [9, 10] и др.
    Exact
    [11]
    Suffix
    , в том числе для изделий микро- и нанотехнологии [12]. Методы измерения КРП (метод Кельвина– Зисмана) в случае металлов, сплавов и полупроводников основаны на регистрации разности работ выхода электрона (РВЭ) между измеряемой и эталонной поверхностями.
    (check this in PDF content)

  6. Start
    3682
    Prefix
    разности потенциалов (КРП) находят широкое применение как при решении научно-исследовательских задач [1–3], так и в промышленности при оценке состояния поверхности материалов различной физической природы [4–6], качества очистки их поверхностей [7, 8], защитных и эксплуатационных свойств тонких пленок и покрытий [9, 10] и др. [11], в том числе для изделий микро- и нанотехнологии
    Exact
    [12]
    Suffix
    . Методы измерения КРП (метод Кельвина– Зисмана) в случае металлов, сплавов и полупроводников основаны на регистрации разности работ выхода электрона (РВЭ) между измеряемой и эталонной поверхностями.
    (check this in PDF content)

  7. Start
    4415
    Prefix
    Так, например, монослой адсорбированных частиц может вызвать изменение поверхностного потенциала на величину порядка 1 В, а инструментальная чувствительность методов измерения РВЭ составляет величину около 0,1–1 мВ
    Exact
    [3, 13]
    Suffix
    . Анализ литературных данных [1–13] показал, что измерители КРП, как правило, представляют собой лабораторную установку, состоящую из серийно выпускаемых измерительных приборов (измерительных усилителей, фазовых детекторов (Lock-in) и др.), поэтому они обладают рядом недостатков, к числу которых можно отнести большие габариты, высокую стоимость, а также сравнительно большое время измере
    (check this in PDF content)

  8. Start
    4454
    Prefix
    Так, например, монослой адсорбированных частиц может вызвать изменение поверхностного потенциала на величину порядка 1 В, а инструментальная чувствительность методов измерения РВЭ составляет величину около 0,1–1 мВ [3, 13]. Анализ литературных данных
    Exact
    [1–13]
    Suffix
    показал, что измерители КРП, как правило, представляют собой лабораторную установку, состоящую из серийно выпускаемых измерительных приборов (измерительных усилителей, фазовых детекторов (Lock-in) и др.), поэтому они обладают рядом недостатков, к числу которых можно отнести большие габариты, высокую стоимость, а также сравнительно большое время измерений, сложность выполнения многократных
    (check this in PDF content)

  9. Start
    6528
    Prefix
    Если в обычных электрометрах с динамическим конденсатором площадь пластин порядка нескольких квадратных сантиметров, то в случае измерителей КРП практический интерес представляют размеры порядка 0,1–5 мм2, например для использования в сканирующих системах (в сканирующем зонде Кельвина, Scanning Kelvin Probe
    Exact
    [9, 14]
    Suffix
    ), а также в системах контроля технологических процессов, например при трении [15]. Поэтому сигналы с конденсатора измерителя КРП чрезвычайно малы, порядка минимально разрешимых с точки зрения современной аналоговой электроники.
    (check this in PDF content)

  10. Start
    6618
    Prefix
    электрометрах с динамическим конденсатором площадь пластин порядка нескольких квадратных сантиметров, то в случае измерителей КРП практический интерес представляют размеры порядка 0,1–5 мм2, например для использования в сканирующих системах (в сканирующем зонде Кельвина, Scanning Kelvin Probe [9, 14]), а также в системах контроля технологических процессов, например при трении
    Exact
    [15]
    Suffix
    . Поэтому сигналы с конденсатора измерителя КРП чрезвычайно малы, порядка минимально разрешимых с точки зрения современной аналоговой электроники. Кроме того, динамический конденсатор для электрометров представляет собой закрытую, полностью экранированную систему, что в случае измерений КРП сделать практически невозможно.
    (check this in PDF content)

  11. Start
    7169
    Prefix
    Поэтому к измерителям КРП предъявляются жесткие требования как с точки зрения собственных шумов и защиты от внешних наводок, так и с точки зрения тщательной проработки механического и схемотехнического дизайна
    Exact
    [16]
    Suffix
    . Структурная схема измерителя контактной разности потенциалов На рисунке 1 показана структурная схема измерителя КРП. Входная цепь состоит из конденсатора, образованного поверхностями измерительного электрода М1 (эталонный образец), заземленного контролируемого образца М2 и входного высокоомного предусилителя.
    (check this in PDF content)

  12. Start
    10738
    Prefix
    Таким образом, измеритель непрерывно отслеживает изменение КРП между эталонным и измеряемым образцами по фазе, значение КРП может быть измерено или записано с помощью соответствующего внешнего регистратора. Модулятор Для возбуждения механических колебаний эталонного образца возможно использование механических, электромагнитных, электростатических и пьезоэлектрических модуляторов
    Exact
    [17]
    Suffix
    . Электростатические и пьезоэлектрические модуляторы не получили широкого распространения при измерениях КРП. Их недостатком является высокое переменное напряжение, требующееся для их работы, что создает значительный уровень помех, а также низкая механическая прочность, что затрудняет их использование в условиях повышенных вибраций.
    (check this in PDF content)

  13. Start
    14882
    Prefix
    Применение во входном каскаде измерителя ОУ позволяет отказаться от традиционного разделительного конденсатора между эталонным образцом и входом усилителя, что, в свою очередь, позволяет уменьшить постоянную времени входной цепи для потенциала компенсации и повысить быстродействие устройства в целом
    Exact
    [18]
    Suffix
    . Кроме того, это позволяет подавать напряжение компенсации на эталонный образец, а измеряемый образец требует только заземления. Такой подход к построению предусилителя особенно важен для измерителей, применяемых в системах сканирования (сканирующий зонд Кельвина) и при контроле технологических процессов (например, при трении).
    (check this in PDF content)