The 6 reference contexts in paper O. Reutskaya G., Ya. Belahurau A., I. Taratyn A., V. Khatko V., О. Реутская Г., Е. Белогуров А., И. Таратын А., В. Хатько В. (2015) “ЧЕТЫРЕХСЕНСОРНАЯ ГАЗОВАЯ МИКРОСИСТЕМА НА ПОДЛОЖКЕ ИЗ ПОРИСТОГО АНОДНОГО ОКСИДА АЛЮМИНИЯ: КОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНОЛОГИЯ, МОДЕЛИРОВАНИЕ // FOUR SENSOR GAS MICROSYSTEM BASED ON POROUS ANODIC ALUMINA SUBSTRATE: DESIGN, FABRICATION TECHNIQUE, SIMULATION” / spz:neicon:pimi:y:2013:i:2:p:47-51

  1. Start
    1716
    Prefix
    Карлсруе и использует матрицу из 38 сенсоров, сформированных путем нанесения системы полосковых микроэлектродов на поверхность чувствительной полупроводниковой пленки и ее пространственно-неоднородный нагрев с помощью микронагревателей
    Exact
    [1]
    Suffix
    . Различная температурная зависимость отклика полупроводниковой пленки для каждого газа позволяет по набору сопротивлений элементов матрицы провести анализ состава атмосферы, окружающей мультисенсорную систему.
    (check this in PDF content)

  2. Start
    2126
    Prefix
    температурная зависимость отклика полупроводниковой пленки для каждого газа позволяет по набору сопротивлений элементов матрицы провести анализ состава атмосферы, окружающей мультисенсорную систему. Недостатком данной технологии является высокое энергопотребление данной сенсорной системы. Вторая технология создана в Национальном центре микроэлектроники в г. Барселона
    Exact
    [2]
    Suffix
    . С помощью этой технологии на диэлектрической мембране, созданной путем объемного травления кремниевой подложки, размещаются четыре химических сенсора, имеющих попарно различную систему встречно-штыревых электродов.
    (check this in PDF content)

  3. Start
    3142
    Prefix
    Ожидалось, что мультисенсорная микросистема, выполненная с использованием диэлектрической подложки на основе нанопористого анодного оксида алюминия, устранит все отмеченные недостатки прототипов и повысит чувствительность и селективность микросистемы к детектируемым газам
    Exact
    [3]
    Suffix
    . Конструкция и технология изготовления микросистемы На рисунке 1 представлены две топологии разработанной газовой микросистемы. Их отличие связано с различным видом платинового микронагревателя, толщина которого в обоих случаях составляет 0,5 мкм.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    4802
    Prefix
    Использование в топологии микросистемы сквозных отверстий, как и использование самой нанопористой диэлектрической подложки, призвано снизить потребляемую мощность газовой микросистемы за счет уменьшения объема, контактирующего с нагревателем материала подложки, и уменьшения коэффициента теплопроводности алюмооксидной подложки, зависящего от ее пористости
    Exact
    [4]
    Suffix
    . Технология изготовления газовой микросистемы состоит из нескольких основных блоков технологических операций. а б Рисунок 1 – Топология 4-сенсорной газовой микросистемы с нагревателем в виде полоски (а) и меандра (б).
    (check this in PDF content)

  5. Start
    7997
    Prefix
    Рисунок 4 – Поперечное сечение микросистемы после нанесения чувствительного слоя и его термообработки Изготовленные кристаллы микросистемы развариваются в 16-выводной металлический корпус для проведения в дальнейшем электрофизических измерений, которые будут выполнены на последующих этапах работы. На нынешнем же этапе с использованием ранее полученных результатов
    Exact
    [3, 4]
    Suffix
    проведено моделирование основных свойств и параметров газовой микросистемы методом конечных элементов. Моделирование механических и тепловых свойств мультисенсорной системы Работы, связанные с моделированием свойств, включали создание конечно-элементной модели микросистемы, определение температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкци
    (check this in PDF content)

  6. Start
    8604
    Prefix
    свойств, включали создание конечно-элементной модели микросистемы, определение температуры основных ее элементов и термомеханических деформаций, возникающих в конструкции при различных режимах работы микросистемы. Они основывались на зависимостях коэффициентов продольной и поперечной теплопроводности от пористости для оксида алюминия, полученные авторами работы ранее
    Exact
    [3, 4]
    Suffix
    . Первоначально была построена структурированная призматическая сетка конечных элементов. Количество элементов составило 24000. Для разбиения подложки использовалось 3 слоя, а при разбиении металлизации – 2 слоя.
    (check this in PDF content)