The 8 reference contexts in paper V. Khatko V., В. Хатько В. (2015) “ПРЕКОНЦЕНТРАТОР ГАЗОВОЙ СИСТЕМЫ «ЭЛЕКТРОННЫЙ НОС» // PRECONCENTRATOR OF GAS SYSTEM «ELECTRONIC NOSE»” / spz:neicon:pimi:y:2012:i:2:p:47-50

  1. Start
    1690
    Prefix
    К таким системам относится «Электронный нос» – аналитическое устройство, сочетающее в себе массив неселективных сенсоров, обладающих высокой перекрестной чувствительностью и способностью к распознаванию образов, и многомерную калибровку для обработки данных от такого массива
    Exact
    [1]
    Suffix
    . Если данную систему дополнить еще одним модулем – интегральным преконцентратором, обеспечивающим программируемую термическую адсорбцию-десорбцию токсичных газов с уровнем концентрации в 1 ppb (одна молекула на миллиард), то данная микросистема будет обладать высокой чувствительностью [2].
    (check this in PDF content)

  2. Start
    1994
    Prefix
    Если данную систему дополнить еще одним модулем – интегральным преконцентратором, обеспечивающим программируемую термическую адсорбцию-десорбцию токсичных газов с уровнем концентрации в 1 ppb (одна молекула на миллиард), то данная микросистема будет обладать высокой чувствительностью
    Exact
    [2]
    Suffix
    . Преконцентратор изготавливается путем нанесения адсорбционных слоев на поверхность одной или нескольких кремниевых мембран с пленочными термическими нагревателями. Для повышения концентрационного коэффициента до 104 используются наноструктурированные пористые материалы в качестве адсорбционного вещества.
    (check this in PDF content)

  3. Start
    3011
    Prefix
    Согласно им на пластинах кремния методом объемного травления кремния формируются двухслойные (SiNхSiO2) или трехслойные (Si3N4-SiO2-Si3N4) диэлектрические мембраны с тонкопленочными нагревателями. Затем на области мембран наносится мезопористый материал с высоким коэффициентом абсорбции к газам
    Exact
    [3]
    Suffix
    . К настоящему моменту работы по созданию образцов 4-х модульной микросистемы «Электронный нос» (с преконцентратором на основе кремния) ведутся во Франции, Испании и России. Использование другого материала в качестве подложки, как основы для изготовления преконцентратора, не известно.
    (check this in PDF content)

  4. Start
    3871
    Prefix
    оксида алюминия для изготовления интегрального преконцентратора системы «Электронный нос», обеспечивающих достижение температур в диапазоне 500–600 К по площади преконцентратора, необходимых для осуществления режима адсорбции-десорбции токсич- ного газа. Результаты и их обсуждение В основе данного исследования лежит идея (впервые сформулированная в работе
    Exact
    [4]
    Suffix
    ), согласно которой макетные образцы газовой микросистемы «Электронный нос» создаются на основе интегрального преконцентратора и модуля химических сенсоров, изготавливаемых одновременно с использованием микросистемных технологий на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия.
    (check this in PDF content)

  5. Start
    4182
    Prefix
    данного исследования лежит идея (впервые сформулированная в работе [4]), согласно которой макетные образцы газовой микросистемы «Электронный нос» создаются на основе интегрального преконцентратора и модуля химических сенсоров, изготавливаемых одновременно с использованием микросистемных технологий на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Ранее, в работах
    Exact
    [5, 6]
    Suffix
    , методами конечноэлементного моделирования для компонентов тензоров упругости и теплопроводности пористого анодного оксида алюминия были получены зависимости его термомеханических параметров от пористости.
    (check this in PDF content)

  6. Start
    5451
    Prefix
    Расстояние между вытравленными каналами меандра составляло 0,4 мм. Выбор размеров вытравленного канала определялся размерами гранул адсорбента, величина которых, например, для Carbopack X составляет 250–350 мкм
    Exact
    [7]
    Suffix
    . С обратной стороны подложки, повторяя форму канала, формировался платиновый нагреватель с шириной и толщиной дорожки 0,4 и 0,02 мм соответственно. При моделировании параметров преконцентратора в качестве адсорбируемого вещества выбран диоксид кремния со структурой -кварца. а б Рисунок 1 — Конструкция преконцентратора (а) и область преконцентратора с нанесенным адсорбен
    (check this in PDF content)

  7. Start
    5888
    Prefix
    При моделировании параметров преконцентратора в качестве адсорбируемого вещества выбран диоксид кремния со структурой -кварца. а б Рисунок 1 — Конструкция преконцентратора (а) и область преконцентратора с нанесенным адсорбентом Carbopack X (б) Используя метод, развитый в работах
    Exact
    [5, 6]
    Suffix
    , и теоретическую зависимость поперечного и продольного коэффициентов теплопроводности оксида алюминия от пористости, первоначально определялись значения напряжения питания преконцентратора, при которых область с адсорбирующим веществом имела бы температуру порядка 500–600 К, т.е. температуру перехода данного вещества от режима адсорбции активного газа к режиму его десорбции с поверх
    (check this in PDF content)

  8. Start
    7703
    Prefix
    В данном случае увеличение неоднородности распределения температуры в подложке из нанопористого анодного оксида алюминия связано с зависимостью поперечной составляющей коэффициента теплопроводности от пористости, как χ' = (1 – 4/3 n)χ
    Exact
    [5, 6]
    Suffix
    , где χ и χ' – коэффициенты поперечной теплопроводности при нулевой и ненулевой пористости n. Учитывая данную зависимость, можно целенаправленно, путем выбора исходной величины пористости подложки, увеличивать или уменьшать однородность распределение температуры по области нагрева преконцентратора.
    (check this in PDF content)