The 20 references in paper S. Sianko F., V. Zelenin A., С. Сенько Ф., В. Зеленин А. (2018) “Измерение локальных остаточных напряжений в полупроводниковых кремниевых структурах // Control of local stress in semiconductor silicon structures” / spz:neicon:pimi:y:2018:i:3:p:254-262

1
Яцунский, И. Влияние окисления на дефектообразование в легированном кремнии : монография / И. Яцунский, О. Кулинич, В. Смынтына. − Lambert Academic Publishing, 2011. − 188 с.
(check this in PDF content)
2
Зеленин, В.А. Новые методы и приборы контроля в технологии микроэлектроники / В.А. Зеленин, С.Ф. Сенько // Технологии Физтеха. Юбилейный сборник трудов : в 2 т. / коллектив авторов ; общ. ред. академик НАН Беларуси С.А. Астапчик. − Т. 1. − Минск : Экоперспектива, 2003. − С. 234−253.
(check this in PDF content)
3
Сенько, С.Ф. Количественный контроль топографических дефектов полупроводниковых пластин кремния / С.Ф. Сенько, А.С. Сенько, В.А. Зеленин // Доклады БГУИР. – 2018. – No 5 (115). – С. 12–18.
(check this in PDF content)
4
Касимов, Ф.Д. Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах / Ф.Д. Касимов, А.Э. Лютфалибекова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2002. – No 2. – С. 13–14.
(check this in PDF content)
5
Айвазян, Г.Е. Об определении внутренних напряжений в системе пленка – подложка / Г.Е. Айвазян // Известия НАН РА и ГИУА. Сер. ТН. – 2000. – Т. LIII, No 1. – С. 63–67.
(check this in PDF content)
6
Ayvazyan, G.E. Anisotropic Warpage of Wafers with Anodized Porous Silicon Layers / G.E. Ayvazyan // Phys. Stat. Sol. (a). – 1999. – Vol. 175. – P. 7–8.
(check this in PDF content)
7
Ullman, J. Reduction of Intrinsic Stress in Cubic Boron Nitride Films / J. Ullman, A.J. Kellock, J.E. Baglin // Thin Solid Films. – 1999. – Vol. 341. – P. 238–245.
(check this in PDF content)
8
Дюжев, Н.А. Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометра / Н.А. Дюжев, А.А. Дедкова, Е.Э. Гусев, А.В. Новак // Известия вузов. Электроника. – 2016. – No 4. – С. 367–372.
(check this in PDF content)
9
Riesz, F. Geometrical optical model of the image formation in Makyoh (magic-mirror) topography / 261 а b Приборы и методы измерений 2018. – Т. 9, No 3. – С. 254–262 Сенько С.Ф., Зеленин В.А. F. Riesz // J. Phys. D: Appl. Phys. – 2000. – Vol. 33. – Р. 3033–3040.
(check this in PDF content)
10
Riesz, F. Makyoh Topography for the Study of Large-Area Extended Defects in Semiconductors / F. Riesz // Phys. Stat. Sol. (a). – 1999. – Vol. 171, no. 1. – Р. 403–409.
(check this in PDF content)
1

(check this in PDF content)
2

(check this in PDF content)
3

(check this in PDF content)
4

(check this in PDF content)
5

(check this in PDF content)
6

(check this in PDF content)
7

(check this in PDF content)
8

(check this in PDF content)
9

(check this in PDF content)
10

(check this in PDF content)