The 24 references in paper I. Klimovich M., V. Kuleshov N., V. Zaikou A., A. Burmakou P., F. Komarov F., O. Ludchik R., И. Климович М., В. Кулешов Н., В. Зайков А., А. Бурмаков П., Ф. Комаров Ф., О. Людчик Р. (2015) “СИСТЕМА КОНТРОЛЯ РАСХОДА ГАЗОВ ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В ТЕХНОЛОГИИ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ // GAS FLOW CONTROL SYSTEM IN REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING TECHNOLOGY” / spz:neicon:pimi:y:2015:i:2:p:139-147

1
Spencer, A.G. Pressure stability in reactive magnetron sputtering / A.G. Spencer, R.P. Howson, R.W. Lewin // Thin Solid Films. – 1988. – Vol. 158. – P. 141–149.
(check this in PDF content)
2
Бурмаков, А.П. Алгоритмы оптического управления реактивным магнетронным оса ждением пленочных покрытий / А.П. Бурмаков, В.Н. Кулешов // Журнал прикладной спектроскопии. – 2012. – Т. 79, No3. – С. 430–435.
(check this in PDF content)
3
Бурмаков, А.П. Спектроскопическая система контроля расхода газов и содержания примесей в процессе магнетронного осаждения пленок / А.П. Бурмаков, В.Н. Кулешов // Журнал прикладной спектроскопии. – 2007. – Т. 74, No 3. – С. 412 – 416.
(check this in PDF content)
4
Комаров, Ф.Ф. Формирование наноструктурированных покрытий TiAlN, TiCrN, TiSiN методом реактивного магнетронного осаждения / Ф.Ф. Комаров, С.В. Константинов, В.В. Пилько // Трение и износ. – 2014. – Т. 3, No 35. – С. 293–303.
(check this in PDF content)
5
Ramadoss, R. Tribological properties and deformation mechanism of TiAlN coating sliding with various counterbodies / Ramadoss R. [et al.] // Tribology International. – 2013. – No 66 – P. 143–149.
(check this in PDF content)
6
Soner, S. Multipass sliding wear behavior of TiAlN coatings using a spherical indenter: effect of coating parameters and duplex treatment / Soner S., Sengül D. // Tribology Transactions. – 2014. – P. 242–255.
(check this in PDF content)
7
Погребняк, А.Д. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий / А.Д. Погребняк [и др.] // Успехи физичесих наук. – 2009. – T. 179, No 1. – С. 35–64.
(check this in PDF content)
8
Белоус, В.А. Твердые покрытия Ti-Al-N, осажденные из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы / В.А. Белоус [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2009. – Т. 7. – No 3. – С. 216–222.
(check this in PDF content)
9
Cavaleiro A., De Hosson J.Т. Nanostructured Coatings. Berlin, Springer-Verlag, 2006. 648 p.
(check this in PDF content)
10
Santana, A.E. Thermal treatment effects on microstructure and mechanical properties of TiAlN thin films / A.E. Santana [et al.] // Tribology Letters. – 2004. – Vol. 17, No 4. – P. 689–696.
(check this in PDF content)
11
Shum, P.W. Structural and mechanical properties of titanium-aluminium-nitride films deposited by reactive closefield unbalanced magnetron sputtering / P.W. Shum [et al.] // Surface & Coating Technology – 2004. – No 185. – P. 245–253.
(check this in PDF content)
12
Комаров, Ф.Ф. Контролируемое нанесение Ti-Al-N покрытий методом реактивного магнетронного распыления / Ф.Ф. Комаров [и др.] // Доклады НАН Беларуси. – 2014. – Т. 58, No 5. – С. 40–43. Gas flow control system in reactive magnetron sputtering
(check this in PDF content)
1

(check this in PDF content)
2

(check this in PDF content)
3

(check this in PDF content)
4

(check this in PDF content)
5

(check this in PDF content)
6

(check this in PDF content)
7

(check this in PDF content)
8

(check this in PDF content)
9

(check this in PDF content)
10

(check this in PDF content)
11

(check this in PDF content)
12

(check this in PDF content)