The 4 references in paper S. Chizhik A., S. Basalaev P., V. Pilipenko A., A. Khudoley L., T. Kuznetsova A., V. Chikunov V., A. Suslov A., С. Чижик А., С. Басалаев П., В. Пилипенко А., А. Худолей Л., Т. Кузнецова А., В. Чикунов В., А. Суслов А. (2015) “КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО КОНТРОЛЯ СУБМИКРОННОЙ ТОПОЛОГИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ // EQUIPMENT FOR NONDESTRUCTIVE TESTING OF SILICON WAFERS SUBMICRON TOPOLOGY DURING THE FABRICATION OF INTEGRATED CIRCUITS” / spz:neicon:pimi:y:2013:i:1:p:14-18

1
Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с оптическим микроскопом: пат. 2244332 РФ, МПК G02B21/00 / А.В. Беляев, В.А. Быков, С.А. Саунин, Л.Г. Фюрст. – No 2002121274/28; заявл. 13.08.2002; опубл. 10.01.2005.
(check this in PDF content)
2
Сканирующий зондовый микроскоп-нанотвердомер, совмещенный с оптической системой линейных измерений: пат. на полезную модель 96429 РФ, МПК G01N3/42, G01N3/48 / К.В. Гоголинский [и др.]. – No 2010110686/22; заявл. 23.03.2010; опубл. 27.07.2010.
(check this in PDF content)
3
Scanning Probe Microscopy Special Issue // Microscopy and Analysis. – 2011. – No 133. – P. 25–34.
(check this in PDF content)
4
Пилипенко, В.А. Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии / В.А. Пилипенко [и др.] // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии: сб. докл. VII Междунар. семи-
(check this in PDF content)