The 3 references in paper V. Pilipenko A., A. Petlitsky N., V. Gorushko A., S. Shvedov V., V. Ponaryadov V., В. Пилипенко А., А. Петлицкий Н., В. Горушко А., С. Шведов В., В. Понарядов В. (2015) “МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН // METHOD AND CONTROL SET-UP OF SILICON WAFER FLATNESS” / spz:neicon:pimi:y:2011:i:1:p:71-76

1
Пилипенко, В.А. Лазерный метод контроля профиля изгиба кремниевых пластин / В.А. Пилипенко [и др.] // Материалы
(check this in PDF content)
2
ой Международной конференции «Композиционные материалы в промышленности. – Ялта. – 2008. – С.
(check this in PDF content)
1

(check this in PDF content)