The 1 reference in paper V. Pilipenko A., A. Petlitsky N., V. Gorushko A., S. Shvedov V., V. Ponaryadov V., В. Пилипенко А., А. Петлицкий Н., В. Горушко А., С. Шведов В., В. Понарядов В. (2015) “МЕТОД И УСТАНОВКА КОНТРОЛЯ ПЛОСКОСТНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН // METHOD AND CONTROL SET-UP OF SILICON WAFER FLATNESS” / spz:neicon:pimi:y:2011:i:1:p:71-76

1
Пилипенко, В.А. Лазерный метод контроля профиля изгиба кремниевых пластин / В
(check this in PDF content)