The 1 linked reference in paper В. Полякова В., В. Смирнов А., О. Агеев А. (2018) “ИССЛЕДОВАНИЕ РЕЖИМОВ НАНОРАЗМЕРНОГО ПРОФИЛИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ МЕТОДОМ ЛОКАЛЬНОГО АНОДНОГО ОКИСЛЕНИЯ” / spz:neicon:nanorf:y:2018:i:2:p:87-92

  1. Шевяков В.И. Локальное зондовое окисление. Основные проблемы // Известия ЮФУ. Технические науки. 2011. Т. 117. No 4. С. 35–39.